张利
作品数: 89被引量:14H指数:2
  • 所属机构:清华大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:自动化与计算机技术
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

张鸣
作品数:401被引量:289H指数:10
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
朱煜
作品数:569被引量:827H指数:16
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
尹文生
作品数:321被引量:658H指数:12
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
徐登峰
作品数:209被引量:54H指数:5
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
杨开明
作品数:270被引量:453H指数:11
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台