-
李志刚
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:自动化与计算机技术
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 陈大鹏
- 作品数：674被引量：449H指数：11
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
- 陈岚
- 作品数：897被引量：164H指数：5
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：版图 电路 研磨 集成电路版图 CMP
- 叶甜春
- 作品数：838被引量：656H指数：10
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
- 刘明
- 作品数：1,361被引量：405H指数：11
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
- 阮文彪
- 作品数：27被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：冗余 版图 集成电路版图 金属 版图设计
