2024年12月23日
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刘佳
作品数: 11
被引量:3
H指数:1
所属机构:
中国科学院微电子研究所
所在地区:
北京市
研究方向:
电子电信
发文基金:
中国科学院“百人计划”
相关作者
骆志炯
作品数:332
被引量:5
H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 半导体结构 沟道 堆叠 介质层
王鹤飞
作品数:10
被引量:0
H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衬底 氧化层 半导体结构 刻蚀 晶体管
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