2024年12月23日
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陈为红
作品数: 3
被引量:5
H指数:1
所属机构:
清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
所在地区:
北京市
研究方向:
化学工程
相关作者
杨宝和
作品数:3
被引量:5
H指数:1
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:超纯水系统 VLSI 超大规模集成电路 自动化 水质
刘朋
作品数:57
被引量:5
H指数:1
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆片 半导体制造设备 激光 半导体制造技术 激光加工
王水弟
作品数:64
被引量:112
H指数:6
供职机构:清华大学
研究主题:电镀 互连 硅 倒装芯片 焊球
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