-
卢意飞
-
-
- 所属机构:上海集成电路研发中心
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:上海市自然科学基金
相关作者
- 袁伟
- 作品数：39被引量：0H指数：0
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：光刻 光刻机 光刻工艺 光刻版 硅片
- 左青云
- 作品数：80被引量：0H指数：0
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：衬底 淀积 空气隙 介质层 存储器
- 胡红梅
- 作品数：28被引量：0H指数：0
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：光刻胶 光刻 旁瓣 图形化 光刻工艺
- 李铭
- 作品数：169被引量：5H指数：1
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：淀积 光刻 刻蚀 衬底 介质层
- 刘强
- 作品数：110被引量：4H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题：图形化 晶体管 衬底 硅 沟道
