王自筠
作品数: 1被引量:0H指数:0
  • 所属机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信

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朱德光
作品数:3被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:掺砷衬底 MOS结构 氧 比接触电阻 本征吸杂
谭淞生
作品数:17被引量:19H指数:3
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 硅片 齿轮 微齿轮 金刚石薄膜