李思坤
作品数: 167被引量:181H指数:9
  • 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

王向朝
作品数:825被引量:1,352H指数:19
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
闫观勇
作品数:44被引量:24H指数:4
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 像差 主成分
步扬
作品数:157被引量:266H指数:10
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
杨朝兴
作品数:22被引量:33H指数:5
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 光源 掩模 投影物镜 分辨率增强技术
张恒
作品数:20被引量:22H指数:3
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:掩模 极紫外光刻 仿真方法 投影物镜 接触孔