2025年1月13日
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刘洁丹
作品数: 7
被引量:0
H指数:0
所属机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
所在地区:
上海市
研究方向:
自动化与计算机技术
发文基金:
上海市科委科技攻关项目
相关作者
王家畴
作品数:78
被引量:77
H指数:6
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅片 单晶硅 衬底 热电堆 热偶
李昕欣
作品数:535
被引量:376
H指数:10
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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