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单片式128×1氧化钒微测辐射热计非致冷焦平面的研制被引量：4: 2007年; 采用氧化钒薄膜、低应力介质膜和CMOS读出电路技术,研制了单片式128×1非致冷焦平面.氧化钒薄膜的制备采用了一种新的方法,焦平面的信号读出采用了CTIA积分方式.应用一种双频PECVD技术制备了低应力氮化硅薄膜,有效改善了微桥的平整度.通过氮化硅和氧化钒薄膜自身的红外吸收,焦平面在8～14μm波段的平均响应率达到8.2×104V/W,平均D*达到2.3×108cmHz1/2/w.焦平面的均匀性需要进一步改善.; 陈永平刘强施永明唐成伟梁平治; 关键词：非致冷焦平面氧化钒

用于热红外推帚式成像的512×3元非致冷焦平面列阵: 2007年; 计划中用以执行地球和行星观测任务的热红外成像仪器越来越多。并入这些仪器的非致冷微测辐射热计技术给这些仪器带来了尺寸、重量和功耗方面的优势,这些优势有利于执行小卫星任务,对于微型卫星和纳米卫星来说则更是必不可少的条件。加拿大海洋研究所和标准协会已研究成功一种独特而通用的加拿大微测辐射热计工艺技术。最近,他们用这种技术研制成一个非致冷焦平面列阵以满足基于卫星的热红外成像的特殊要求。列阵由三行并行的像元构成,每行有512个像元,像元的间距为39μm。为了实现在片像元偏差校准并提高对电路小片温度变化的不敏感性,每个像元都包含着有源探测器和参考探测器。读出电路以并行方式对每一个像元进行积分,从而消除了其本身的偏差和低频噪声,并提供14bit的数字输出。一种用以操作512×3元焦平面列阵并使其采集数据的紧凑型电路插件装置已设计并制成。它被装在一个75mm×75mm×50mm的封壳中,其功耗为3．75W。; 顾聚兴; 关键词：微测辐射热计外推读出电路卫星任务

具有低噪读出特性的VO_2非致冷焦平面读出电路被引量：6: 2006年; 介绍了一种针对二氧化钒敏感材料的CMOS读出电路(RO IC).该电路结构简单,适合大规模焦平面阵列,并具有良好的低噪特性,可以有效地降低焦平面衬底温度波动影响和抑制一些低频噪声.该读出电路已成功地应用于32×32元微测辐射热计焦平面阵列原型.; 陈西曲易新建王强; 关键词：非致冷红外焦平面二氧化钒读出电路

混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜制备及实用: 铟膜及铟柱制备是研制红外焦平面探测器列阵的关键技术之一。本文着重介绍了我们在“128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)”研制中铟膜的制各和我们选择铟做混合式UFPA互连材料的理由与互连方法。强调了铟膜...; 黄江平杨春丽黎力袁斌; 关键词：焦平面铟柱

128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜及铟柱制备工艺研究被引量：8: 2003年; 着重介绍了我们在“1 2 8×1 2 8混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)”研制中铟膜及铟柱的制备和我们选择铟做混合式UFPA互连材料的理由与互连方法。强调了铟膜制备基本工艺要求。根据薄膜均匀性要求 ,计算出了蒸发源距工件的距离及所需材料量 ,确定了保证铟膜不氧化的关键数据及具体操作。文中给出了铟柱列阵显微照片 (显示了铟膜厚度)和铟柱列阵的立体形貌像 ,还介绍了铟柱列阵成型方法及铟柱生长工艺流程 ,并叙述了倒装互连技术 ,且给出了我们的成像演示照片和器件照片。; 黄江平杨春丽黎力杨登全张丽华李玉英; 关键词：热释电焦平面铟柱 UFPA

非致冷焦平面红外热像仪双波段测温: 由于以往致冷型红外热像仪的价格因素,使其应用领域的扩展受到了极大的限制.90年代后期,非致冷红外焦平面技术取得了重要突破并达到了实用化,使热成像技术的应用得到了飞速的发展.同时,双波段热成像技术也成为人们研究的重点.而该...; 邢冀川; 关键词：红外热像仪温度测量比色测温红外测温

氧化钒红外敏感膜和非致冷焦平面成像阵列研究: 非制冷热成像探测器目前以微测辐射热计和热释电探测器为主流.该论文针对这两类探测器开展了红外热敏薄膜制备和非制冷探测器研制工作.主要包括以下内容:利用溶胶-凝胶法在SiO<,2>/Si衬底上获得了电阻率变化3个数量级以上、...; 袁宁一; 关键词：氧化钒薄膜离子束增强沉积纳米陶瓷粉末

红外非致冷焦平面热成像探测器、机芯及整机: 红外非致冷焦平面(UFPA)探测器的出现,产生的新一代红外非致冷热成像装备.本文介绍了这种探测器的开发和普及应用情况,和使用这种探测器制造的机芯产品性能,并且还介绍了最新型的非致冷红外焦平面热成像整机.; 张维力王京平; 关键词：红外热成像非致冷焦平面探测器

非致冷焦平面热成像技术被引量：13: 1999年; 简要介绍三种非致冷红外探测器的技术途径和发展现状。从系统原理提出ＵＦＰＡ热像仪的设计概念以及必须解决的几个关键技术。分析ＵＦＰＡ的性能极限和系统的性能水平，并与第一代轻型热像仪的ＭＲＴＤ曲线进行比较。; 冯生荣张毓荣; 关键词：非致冷焦平面列阵热探测器热成像

混合式非致冷焦平面器件芯片工艺研究被引量：7: 1999年; 随着红外热成像应用技术的不断发展，国内外研究和开发低成本非致冷热像仪的兴趣越来越浓。而开发非致冷热像仪的关键技术在于开发其核心部件非致冷焦平面器件。本文对致冷型焦平面器件和非致冷型焦平面器件进行简单的比较，简要报导国内外非致冷焦平面器件的发展状况、规模、目前达到的水平及其应用，着重叙述混合式１２８×１２８非致冷焦平面器件芯片的研制工艺。; 黄承彩; 关键词：混合式非致冷焦平面器件芯片

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