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制冷红外探测器
本实用新型提供一种制冷红外探测器,包括:基底、反射镜、导电吸气剂锚柱、微桥及热敏电阻;基底内设置有读出电路,所述导电吸气剂锚柱与读出电路电连接,所述微桥架设于导电吸气剂锚柱上,所述热敏电阻位于微桥背离导电吸气剂锚柱的表...
李胜利徐云霞汪新学
制冷红外探测器
姚浩强李海涛杨晓杰
①课题来源与背景:制冷红外探测器正常工作需要高真空环境,通常采用金属管壳或者陶瓷管壳来封装。此方法工艺成熟,但管壳质量重、体积大,产品功耗大、工艺耗时长、效率低、成本高,封装成本占了整个探测器的70%-80%。所以封装...
关键词:
关键词:红外探测器芯片
制冷红外探测器
2001年
本发明提供一种制冷辐射红外探测器,它由偶极天线、衬底、闭锁接点以及带隙探测器元件等构成。偶极天线固定在衬底上。
关键词:非制冷红外探测器偶极天线衬底
一种制冷红外探测器制造工艺
本发明提供的一种制冷红外探测器制造工艺,包括如下步骤:步骤一:在沉积制冷红外探测器桥腿薄膜的晶圆上进行BARC涂布,在BARC涂布层上方涂覆一层光阻层;步骤二:对包含BARC涂布层以及光阻层的晶圆进行光刻,光刻区域为...
李胜利乔启峰杨秀明
一种二极管型制冷红外探测器
本发明涉及探测器技术领域,具体公开了一种二极管型制冷红外探测器,其中,包括:敏感单元、支撑梁和框架,所述敏感单元和所述支撑梁悬空设置在所述框架内,且所述敏感单元的端部通过所述支撑梁与所述框架的侧壁连接;所述敏感单元内设...
傅剑宇瞿帆侯影杜祥雷陈大鹏
一种制冷红外探测器温度控制系统
一种制冷红外探测器温度控制系统,包括探测器温度采样模块、探测器温度设定模块、探测器温度驱动模块。探测器温度采样模块负责产生恒定电流驱动探测器测温二极管,同时提取探测器温度采样电压,将该反馈电压调理后提供给探测器温度驱动...
王旭黄义何志宽刘颖翟立阳申才力毛岩刘睿曦李映宝
一种制冷红外探测器及其制作方法
本发明涉及传感器技术领域,具体公开了一种制冷红外探测器的制作方法,其中,包括:提供晶圆衬底;根据数模混合集成电路标准工艺在晶圆衬底上分别制作读出电路和部分传感器结构,以及根据MEMS工艺在部分传感器结构基础上完成传感器...
傅剑宇张剑唐力强陈大鹏
一种面阵级封装制冷红外探测器
本实用新型涉及半导体技术领域,具体为一种面阵级封装制冷红外探测器,包括:衬底;像元微桥结构,其位于所述衬底上,所述像元微桥结构包括锚柱以及由所述锚柱支撑的桥面,所述锚柱具有孔,所述孔内填充有金属支撑柱;腔体,所述腔体盖...
黄立黄晟江致兴叶帆王春水汪超蒋文杰王嘉威
制冷红外探测器、芯片以及芯片的制作方法
本发明涉及一种制冷红外探测器芯片的制作方法,包括如下步骤:S1,在读出电路上进行MEMS阵列的制作;S2,待完成后,在读出电路MEMS阵列的部位上沉积吸气剂材料;S3,通过剥离工艺,去掉制冷红外像元部分的吸气剂,留...
黄立马占锋陈丹汪超王春水高健飞
一种制冷红外探测器的最优偏置电压控制方法
本发明公开了一种制冷红外探测器的最优偏置电压控制方法,涉及制冷红外探测技术领域,包括:设定若干个制冷红外探测器的偏置电压,启动成像系统工作,输出若干组帧数相同的红外图像;获取各组红外图像灰度值的动态范围并记录灰度平...
李玉斌李明秋郝子强朱德鹏詹伟达

相关作者

梁中翥
作品数:269被引量:288H指数:9
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:傅里叶变换光谱仪 反射镜 光子晶体 成像光谱仪 空间调制
秦余欣
作品数:290被引量:136H指数:6
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:成像光谱仪 阵列器件 傅里叶变换光谱仪 微小型化 反射镜
梁静秋
作品数:562被引量:556H指数:12
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:傅里叶变换光谱仪 成像光谱仪 阵列器件 电铸 光子晶体
吕金光
作品数:288被引量:171H指数:6
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:成像光谱仪 傅里叶变换光谱仪 阵列器件 反射镜 微小型化
褚君浩
作品数:835被引量:1,041H指数:13
供职机构:中国科学院上海技术物理研究所
研究主题:铁电 铁电薄膜 红外探测器 HGCDTE HG