搜索到550篇“ 金属有机化学气相淀积“的相关文章
- 一种金属有机化学气相沉淀设备
- 本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，且公开了一种金属有机化学气相沉淀设备，包括设备主体，所述设备主体的表面固定安装有把手，所述设备主体的内壁设置有调节机构；所述调节机构包括抽液泵，所述抽液泵固定安装于设备主体的顶部，所述...
- 李聪聪
- 一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置
- 本发明公开了一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置，包括反应箱，所述反应箱的上侧壁设有混合罐，所述混合罐的上侧壁固定有输出端与其内部连通的增压泵，所述混合罐的外壁上连接有进气管一和进气管二，所述反应箱内固定有用于气相沉淀...
- 赵艳霞程永亮
- 一种金属有机化学气相沉淀反应腔的气体喷淋分配装置
- 本实用新型提供一种金属有机化学气相沉淀反应腔的气体喷淋分配装置，所述装置包括：腔体上盖，腔体上盖设有第一进气孔，第一进气孔下方设有辅助喷淋头；通气板，位于腔体上盖下方，底部设有第一沟槽，相邻两个第一沟槽间设有第一通孔，通...
- 邸海滨张森
- 一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋角度调节装置
- 本实用新型公开了一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋角度调节装置，包括外壳体，所述第一抽吸泵下端设有连接导管，且连接导管另一端设有分流管，所述球阀外壁设有阀槽，且阀槽下端设有漏孔，所述漏孔为圆形结构分布，其漏孔另一端设有喷...
- 张丙学张民生丁照君张学栋
- 一种金属有机化学气相沉淀设备
- 本发明公开了一种金属有机化学气相沉淀设备，包括反应壳，所述反应壳采用封闭的壳体，所述反应壳的底端外侧固定连接有多个支撑脚，所述反应壳的顶端固定且连通有气管，所述反应壳的内壁上固定连接有支撑杆，且支撑杆水平设置，所述支撑杆...
- 袁文阳曦郑忻宇马佳俊
- 文献传递
- 一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置
- 本发明公开了一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置，包括反应箱，所述反应箱的上侧壁设有混合罐，所述混合罐的上侧壁固定有输出端与其内部连通的增压泵，所述混合罐的外壁上连接有进气管一和进气管二，所述反应箱内固定有用于气相沉淀...
- 赵艳霞程永亮
- 一种金属有机化学气相沉淀设备
- 本发明公开了一种金属有机化学气相沉淀设备，包括反应壳，所述反应壳采用封闭的壳体，所述反应壳的底端外侧固定连接有多个支撑脚，所述反应壳的顶端固定且连通有气管，所述反应壳的内壁上固定连接有支撑杆，且支撑杆水平设置，所述支撑杆...
- 袁文阳曦郑忻宇马佳俊
- 文献传递
- 一种具有多个子反应器结构的金属有机化学气相沉淀设备
- 本实用新型公开了一种具有多个子反应器结构的金属有机化学气相沉淀设备，包括主设备、子设备、控制键面板和防护机构，所述主设备和子设备前表面均设置有控制键面板，所述控制键面板可拆卸式安装在主设备或者子设备侧面且可对控制键面板防...
- 李蜂
- 文献传递
- 三层热壁金属有机化学气相外延流场计算机模拟被引量：2
- 2019年
- 本文对三层热壁水平流金属有机化学气相沉积(MOCVD)真空反应腔的设计以及最终流场分布都进行了理论模拟。在选择优化喷管排布基础上,在衬底托盘、衬底四周底壁,以及衬底所在区域上壁临近区域范围加热,形成局部热壁外延真空反应腔体。此外,对于真空腔体设计,顶层与底层流动速度,都进行细致研究,确保在材料生长区域的壁面,反应前驱物源气体保持在稳定且无漩涡流动状态,并使反应物主要分布在衬底位置处,有效提高反应物利用率,并避免在腔壁等处发生反应,最后进行热壁MOCVD材料生长,得到厚度分布比较均匀,x射线双晶衍射的半峰全宽(FWHM)为149.8弧度秒,表明生长出质量良好的氮化镓(GaN)薄膜单晶材料。
- 李琳李成明杨功寿胡西多胡西多杨少延
- 关键词：金属有机化学气相沉积喷管数值模拟
- 一种金属有机化学气相沉淀设备
- 本实用新型公开了一种金属有机化学气相沉淀设备，包括反应箱及喷淋头，反应箱上端设置有喷淋头；反应箱内设置有反应腔，反应腔底端设置有反应平台，反应平台上端设置有反光层；喷淋头包括上盖及孔板，孔板上均布有多个向反应腔内输送气态...
- 陈银霞
- 文献传递
