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一种具有金刚石薄膜的铣刀生产工艺
本发明涉及铣刀生产技术领域，具体为一种具有金刚石薄膜的铣刀生产工艺，包括：刀具准备，刀刃准备包括刀具基材选用，刀具基材选用硬质合金，根据使用需求和加工要求，设计刀具的形状、刃口角度、齿数等参数，根据设计要求，对所选材料进...
曹晔关亚飞邱飞平
竖直耦合式的金刚石薄膜沉积设备
本发明公开了一种竖直耦合式的金刚石薄膜沉积设备。金刚石薄膜沉积设备包括：反应气体供给单元、电磁波激励单元、真空发生单元和谐振腔体，反应气体供给单元、电磁波激励单元、真空发生单元与谐振腔体连接。本发明提供的一种竖直耦合式的...
艾永干卡德克·瓦迪卡·赫玛万华雄伟马懿
金刚石薄膜电热手术刀及其控温方法
本发明公开了金刚石薄膜电热手术刀，属于医疗器械技术领域，包括顺次相连的刀片、刀柄、控制线和控制设备；刀片包括刀片基材和覆盖在刀片基材上的金刚石薄膜层；在刀柄上设有配合使用的电热转换器和热敏电阻，电热转换器和热敏电阻与金刚...
戎非邓剑军
微波等离子体制备类金刚石薄膜进展
2024年
随着对材料需求的日渐增长,在材料表面沉积性能优异的薄膜以提高材料的使用性能成为一种趋势。类金刚石薄膜具有高硬度、强的耐腐蚀性能、低摩擦因数、良好的耐磨损性等优势,在工业制造领域受到越来越多的关注。介绍了电子回旋共振等离子体源和表面波等离子体源的原理及在制备DLC薄膜中的应用,分析了沉积过程中影响DLC薄膜性能的主要因素,指出了目前存在的问题,总结了微波等离子体源能够产生大面积的高密度等离子体,且无电极污染等优势,为促进高性能DLC薄膜的制备和应用提供参考。
李孝凯尹善王进平徐清国郭朝乾
关键词：类金刚石等离子体微波表面波电子回旋共振
一种碳基类金刚石薄膜制备用镀膜装置
本发明公开了一种碳基类金刚石薄膜制备用镀膜装置，涉及碳基类金刚石薄膜制备技术领域。本发明通过以下技术方案予以实现：一种碳基类金刚石薄膜制备用镀膜装置，包括底座，所述底座的顶部固定安装有镀膜室。本发明通过置物板、转动盘、转...
周圣喆肖晓晖梁良刘俊马彦昭
一种掺杂类金刚石薄膜制备装置及方法
本发明公开了一种掺杂类金刚石薄膜制备装置及方法，该装置包括真空腔室、真空系统、控制系统和电源系统，真空腔室顶端安装有螺旋电极，真空腔室底端安装有样品台，螺旋电极与样品台结合射频电源激发阴阳极。本发明利用螺旋电极与样品台结...
许世鹏陈维铅李玉宏
一种碳基类金刚石薄膜制备用镀膜装置
本发明涉及金刚石镀膜技术领域，具体为一种碳基类金刚石薄膜制备用镀膜装置，包括设备箱，设备箱的内侧固定安装有用于隔热以及稳定作用的稳定桶，稳定桶的上端固定安装有若干支撑架，支撑架的上端固定安装有安装环，安装环的上端设置有用...
陆樟栋
一种CVD多晶金刚石薄膜异质外延衬底结构
本实用新型涉及多晶金刚石生产技术领域，具体涉及一种CVD多晶金刚石薄膜异质外延衬底结构，包括衬底盘，所述衬底盘的内底壁抵接有隔离环，所述隔离环的四周呈环形阵列固定连接有多个延伸板，各组所述延伸板的底部均固定连接有插柱，所...
冯建伟
一种曲面多晶金刚石薄膜的微波合成装置
本实用新型公开了一种曲面多晶金刚石薄膜的微波合成装置，包括箱体和密封机构；箱体：其底壁的中部设置有放置台，箱体前端设置的安装槽内通过铰链铰接有箱门，箱体前端的上侧通过轴承转动连接有安装杆，箱体右端开设的进气口内均设置有进...
许坤段向阳杨鹏丁佩
一种四元合金掺杂类金刚石薄膜及其制备方法
本发明公开了一种四元合金掺杂类金刚石薄膜及其制备方法，属于高熵碳化物薄膜技术领域，该薄膜以HfMoNbZr四元合金靶经高功率脉冲磁控溅射和碳靶经直流磁控溅射以硅片作为基体共同沉积获得，薄膜中各元素原子百分比含量为Hf 3...
杜昊阮一鸣施杰陈云胡恒宁谢明强
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夏义本
作品数：207被引量：458H指数：10
供职机构：上海大学材料科学与工程学院
研究主题：金刚石薄膜 金刚石膜 金刚石 类金刚石薄膜 紫外光探测器
汪建华
作品数：371被引量：834H指数：12
供职机构：武汉工程大学
研究主题：化学气相沉积 金刚石薄膜 金刚石膜 微波等离子体 金刚石
王林军
作品数：384被引量：396H指数：9
供职机构：上海大学
研究主题：金刚石薄膜 金刚石膜 碲锌镉 紫外光探测器 SUB
孙方宏
作品数：198被引量：475H指数：13
供职机构：上海交通大学机械与动力工程学院
研究主题：金刚石薄膜 金刚石涂层 金刚石 热丝化学气相沉积 硬质合金
胡晓君
作品数：94被引量：0H指数：0
供职机构：浙江工业大学
研究主题：纳米金刚石薄膜 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 纳米金刚石 发光