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搜索到513篇“ 谐振式压力传感器“的相关文章

谐振式压力传感器: 本发明提供了一种谐振式压力传感器。该包括：传感器本体，在该传感器本体的底部形成压力敏感膜；在该压力敏感膜上形成有两谐振器‑第一谐振器和第二谐振器，其中，该两谐振器具有相同的固有频率，且两者对作用于压力敏感膜上的压力P的灵...; 王军波谢波陈德勇王艳双; 文献传递

谐振式压力传感器: 1994年; 三枝德治; 关键词：传感器压力传感器

压电谐振式压力传感器、补偿系统及制备方法: 本申请提供一种压电谐振式压力传感器、补偿系统及制备方法，涉及传感器及传感器制造技术领域。该压电谐振式压力传感器包括压电组件、谐振组件以及压力敏感组件。谐振组件连接于压电组件的一侧，谐振组件背离压电组件的一侧开设有谐振腔。...; 吴志鹏陈旭远

一种谐振式压力传感器及制作工艺: 一种谐振式压力传感器，包括硅晶圆，薄膜部分，谐振部分，谐振部分固定点，背孔，盖帽，吸气剂层，支撑硅层，埋层氧化层，顶层硅薄膜，多晶硅薄膜和氧化层薄膜交替淀积膜；SOI晶圆是由顶层硅薄膜、埋层氧化层和支撑硅层组成；以硅晶圆...; 黄向向杨敏道格拉斯·雷·斯巴克斯关健

压电谐振式压力传感器、补偿系统及制备方法: 本申请提供一种压电谐振式压力传感器、补偿系统及制备方法，涉及敏感元件及传感器制造技术领域。该压电谐振式压力传感器包括压电组件、谐振薄膜、连接组件以及压力敏感组件。谐振薄膜连接于压电组件的一侧。连接组件连接于谐振薄膜背离压...; 陈旭远吴志鹏

一种脉宽调制的硅谐振式压力传感器闭环电路及调试方法: 本发明涉及一种脉宽调制的硅谐振式压力传感器闭环电路及调试方法，包括谐振式传感器、电流电压转化电路、比较器电路、幅度控制电路和脉宽调制发生电路，其中，电流电压转化电路将谐振动振动的电容变化转化为电压输出，比较器电路将放大的...; 谢波刘迅谭博文鲁毓岚陈德勇王军波

差分压电谐振式压力传感器、补偿系统及制备方法: 本申请提供一种差分压电谐振式压力传感器、补偿系统及制备方法，涉及敏感元件及传感器制造技术领域。差分压电谐振式压力传感器包括压电组件、谐振薄膜及压力谐振组件。压电组件与谐振薄膜配合形成谐振组件，谐振组件包括第一谐振器、第二...; 吴志鹏陈旭远

一种压电谐振式压力传感器及其制备方法: 本申请提供一种压电谐振式压力传感器及其制备方法，涉及传感器技术领域，用于简化压电谐振式压力传感器的结构，减小压电谐振式压力传感器的尺寸。压电谐振式压力传感器，包括压力敏感组件和压电组件，压力敏感组件具有相对设置的第一表面...; 陈旭远吴志鹏

一种MEMS谐振式压力传感器: 本发明提供了一种谐振式压力传感器。传感器中间方孔为感压孔，感压孔中两个厚面为支撑面，作用为抑制方孔受压后的变形；两个薄面是压力敏感膜，其可以接收并放大感压孔中的压强。压力敏感膜片通过锚区结构将变形传递到两谐振梁上，两谐振...; 庄须叶律明琛李平华于志逾刘靖豪

一种谐振式压力传感器及其制备方法: 本发明提供一种谐振式压力传感器及其制备方法，包括以下步骤：提供一衬底，于衬底上表层形成间隔设置的拾振电阻及驱动电阻；于衬底上表层形成至少一包括谐振梁及振动间隙的谐振结构，谐振梁包括相连接的第一梁、第二梁及中间梁，驱动电阻...; 王家畴田宇博李昕欣

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陈德勇: 作品数：198被引量：200H指数：9; 供职机构：中国科学院电子学研究所; 研究主题：电化学谐振梁谐振式压力传感器地震检波器谐振式

王军波: 作品数：203被引量：316H指数：10; 供职机构：中国科学院电子学研究所; 研究主题：电化学地震检波器谐振式电极谐振式压力传感器

任森: 作品数：43被引量：74H指数：5; 供职机构：西北工业大学; 研究主题：谐振式压力传感器谐振微机电系统硅 MEMS

樊尚春: 作品数：460被引量：978H指数：15; 供职机构：北京航空航天大学; 研究主题：谐振式传感器谐振式传感器石墨烯谐振梁

苑伟政: 作品数：662被引量：806H指数：12; 供职机构：西北工业大学; 研究主题：微机电系统 MEMS 微机械微机械陀螺锚点