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与表面声波谐振器的重金属电极插置的压电沟槽
本公开涉及与表面声波谐振器的重金属电极插置的压电沟槽。提供了表面声波(SAW)谐振器装置。所述SAW谐振器装置包含定位于压电膜的上表面上的第一电极。所述第一电极可包含多个层，其中所述多个层的一层是第一重金属层。所述SAW...
P·拉斯
用于生产表面声波谐振器的方法
本发明涉及一种用于生产表面声波(surface acoustic wave，SAW)谐振器设备(200)的方法(100)，所述方法(100)包括：获得(110)钇铝石榴石(Yttrium Aluminum Garnet，...
基里尔·库斯塔诺维奇文特西斯拉夫·扬切夫
抑制杂散波激发的表面声波器件
一种抑制杂散波激发的表面声波器件。所述表面声波器件包括：支撑基板；在支撑基板上形成的压电层；以及压电层上的I DT电极，其中，当在I DT电极处激发的表面声波的波长为λ时，压电层的厚度为2.4λ或更小。
木原芳一李勋龙金泰儇
具有改进的Q性能的表面声波器件及其制造方法
提供了一种具有改进的Q性能和粘合单元高可靠性的表面声波(SAW)器件及其制造方法。该表面声波器件包括：支撑基板；高声速层，其形成在支撑基板上；第一低声速层，其形成在高声速层上；第二低声速层，其形成在第一低声速层上；压电板...
木原芳一李勋龙李昌泯
具有设置在压电层中的电介质材料的表面声波（SAW）滤波器
公开了一种实现表面声波SAW滤波器的装置，该表面声波滤波器具有设置在压电层(132)中的电介质材料(134)。在示例方面，该装置包括表面声波滤波器，该表面声波滤波器具有压电层(132)、电极结构(306‑1,306‑2)...
M·梅凯S·安曼M·埃斯奎尤斯·默罗特M·佩恩派因特纳
用于提高表面声波滤波器边带陡峭度的半导体结构
本发明公开了一种用于提高表面声波滤波器边带陡峭度的半导体结构，包括至少两个表面声波谐振器，每一所述表面声波谐振器均包括一对谐振汇流条、分布于所述一对谐振汇流条之间的叉指换能器以及分布于所述叉指换能器两侧的反射栅结构，所述...
赵子豪张树民蒋超汪泉
一种抑制横模的薄膜表面声波滤波器及其制作方法
本申请公开了一种抑制横模的薄膜表面声波滤波器及其制作方法。涉及滤波技术领域。其中，抑制横模的薄膜表面声波滤波器中的叉指电极结构设置于压电薄膜层远离衬底的一侧，横模抑制电极结构则被巧妙地设置于压电薄膜层和衬底之间，充分利用...
梁骥邹洁冯端高海婷张琪
在电极上形成有质量附加膜的表面声波滤波器
本发明提供了一种在多个电极上形成有质量附加膜的表面声波滤波器。所述表面声波滤波器包括：基板，其上面依次堆叠有支撑基板、能量限制层和压电层；第一母线和第二母线，其在基板上沿第一方向延伸并在与第一方向垂直的第二方向上彼此隔开...
李勋龙吴海宽李成铉
用于抑制由横向模式引起的杂散分量的表面声波滤波器
本发明公开一种用于抑制由横向模式引起的杂散分量的表面声波滤波器，通过在假电极处具有比叉指换能器(I DT)电极处更高的声速，在高于反谐振频率或谐振频率的频带中抑制由不必要的横向模式引起的杂散分量。其包括基板，基板上依次堆...
李勋龙明相勋
一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器
本发明提供一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，包括由下到上依次设置的基底、底电极、压电层和顶电极，基底与底电极之间形成第一反射层，从而构成体声波谐振器；在同一压电层上形成叉指电极，基底与压电层之间形成第二...
廖珮淳
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作品数：1,013被引量：1,055H指数：15
供职机构：西安交通大学
研究主题：传感器芯片 电极 传感器 芯片 压阻
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作品数：105被引量：164H指数：8
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：转动惯量 质心 水下声信号 大尺寸 激光跟踪仪
苗润才
作品数：184被引量：529H指数：13
供职机构：陕西师范大学
研究主题：液体折射率 暗盒 水力空化 表面波 激光
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作品数：53被引量：63H指数：3
供职机构：南京大学
研究主题：声学 声子晶体 声传输 表面声波 亚波长