搜索到32546篇“ 等离子体特性“的相关文章
- 调制微波冷等离子体特性研究
- 2025年
- 本文基于微波等离子体炬装置,对调制微波下等离子体的特性进行了研究和分析。其中对等离子体生命时长的研究,揭示了调制微波下等离子体储存能量和释放能量的过程。此外,针对等离子体的啸叫声这一现象,探究了等离子体音频信号的发音规律以及发音机理,证明了调制微波等离子体射流发出的是频率恒定不变的音频信号。用周期方波信号模拟微波源调制信号,并进行快速傅里叶变换,发现模拟结果与音频信号实际的频率分布相同。这表明其音频频率受微波调制信号频率的调控。
- 李雅瑞柏怡文邵益波金伟金伟
- 不同气氛下脉冲激光溅射BN的等离子体特性
- 2025年
- 为了研究不同气氛环境下脉冲激光溅射含氮化合物产生的等离子体特性及其演化过程,以氮化硼(BN)作为靶材,使用脉冲激光分别溅射氮气、空气和近真空环境中的BN,通过光谱仪采集不同延迟时间下溅射所产生的等离子体信号,揭示了等离子体的生长及消亡过程。结果表明,在空气中溅射BN会生成大量氧等离子体并呈现特征光谱峰,而在氮气或近真空环境下溅射时,该特征峰基本消失;在氮气中溅射BN时,产生的氮原子(N I)、一价氮离子(N II)和三价氮离子(N IV)数量较多,并且氮等离子体存在时间最长,N I和N IV的存在时间分别最长可达4400 ns和3450 ns;在3种不同溅射环境下,激光溅射氮气中的BN最有利于氮原子簇的制备。
- 方普懿行向书杰刘海庆李春天沈瑞琪张伟
- 关键词：分析化学脉冲激光激光溅射BN
- 典型含氮化合物在氮气中的等离子体特性
- 2025年
- 作为供氮体的含氮化合物会直接影响激光作用下形成的高氮化合物的种类。为了深入认识不同含氮化合物供氮体对形成高氮化合物的影响,本研究利用脉冲Nd:YAG激光对氮气氛围中的NaN_(3)、Si_(3)N_(4)和P_(3)N_(5)三种典型含氮化合物进行溅射,使用光谱仪记录并分析了瞬态中间产物的等离子体特性及其演化过程。研究结果表明,激光烧蚀NaN3产生的氮原子(NⅠ)、一价氮离子(NⅡ)和三价氮离子(NⅣ)数量最多,氮等离子体存在时间也最长,NⅠ、NⅡ和NⅢ的最大存在时间分别达到39400,39400 ns和19450 ns。在三种目标供氮体中,激光溅射氮气中NaN3最有可能形成高含氮或全氮原子簇。
- 刘海庆向书杰方普懿行李春天沈瑞琪张伟
- 关键词：光谱脉冲激光含氮化合物
- 大气压射频氩等离子体特性的二维分布研究
- 大气压射频放电等离子体具有装置简单、成本低等优点,近年来受到广泛关注。然而,大气压射频等离子体的一些放电现象还未得到充分的研究,等离子体基本参数的二维分布情况有助于对等离子体性质进行更深入的探究,因此,有必要研究大气压射...
- 曹琪璐
- 关键词：发射光谱
- 提高了耐等离子体特性的等离子体蚀刻装置用构件及其制造方法
- 本发明涉及等离子体蚀刻装置用构件及制造方法，更详细而言，涉及一种通过稀土类金属薄膜的沉积及表面热处理来提高耐等离子体特性，保持光透过性并能够用作蚀刻工序的终点分析用途构件的等离子体蚀刻装置用构件及其制造方法。
- 郑洞勳高贤哲金善台
- 适用于等离子体特性的复合催化剂、制备方法及应用
- 本发明属于催化剂技术领域，公开了一种适用于等离子体特性的复合催化剂、制备方法及应用，一定摩尔比的高锰酸钾与醋酸溶液充分混合，水热处理后过滤、洗涤、烘干即得MnO<Sub>2</Sub>；将一定摩尔比的MnO<Sub>2<...
- 陈思 耿芹 李怡招 于洋洋 董帆
- 反应腔内等离子体特性的检测系统及半导体器件的加工设备
- 本实用新型提供了一种反应腔内等离子体特性的检测系统以及一种半导体器件的加工设备。所述反应腔内等离子体特性的检测系统包括：采样通路，用于采集所述反应腔的顶盖的第一电压信号，其中，所述顶盖被用作在所述反应腔内激发等离子体的射...
- 王佳航张赛谦郭东
- EUV诱导等离子体特性的数值模拟研究
- 极紫外光刻(Extreme ultraviolet lithography,EUVL)技术是目前最先进的集成电路制造技术之一,能够实现10纳米及以下的特征尺寸。EUV光刻系统利用波长为13.5纳米的极紫外辐射刻蚀电路,E...
- 张宇强
- 基于微波透射的非均匀等离子体特性参数诊断方法
- 夏冬
- 反应腔内等离子体特性的检测系统、检测方法及存储介质
- 本发明提供了一种反应腔内等离子体特性的检测系统、一种半导体器件的加工设备、一种反应腔内等离子体特性的检测方法，以及一种计算机可读存储介质。所述检测系统包括：至少两条采样通路，用于分别采集所述反应腔的顶盖的电压信号；电压处...
- 王佳航张赛谦郭东
相关作者
- 汪联辉
- 作品数：452被引量：407H指数：13
- 供职机构：南京邮电大学
- 研究主题：金纳米颗粒 核酸 量子点 传感器 二硫化钼
- 陆继东
- 作品数：385被引量：1,574H指数：22
- 供职机构：华南理工大学
- 研究主题：激光诱导击穿光谱 数值模拟 LIBS 煤粉 颗粒流
- 姚顺春
- 作品数：188被引量：541H指数：16
- 供职机构：华南理工大学
- 研究主题：激光诱导击穿光谱 LIBS 煤粉 颗粒流 光谱学
- 傅院霞
- 作品数：63被引量：181H指数：7
- 供职机构：蚌埠学院
- 研究主题：激光诱导击穿光谱 电子温度 LIBS 电子密度 激光诱导
- 沈瑞琪
- 作品数：466被引量：780H指数：14
- 供职机构：南京理工大学
- 研究主题：飞片 火工品 爆炸箔起爆器 激光点火 点火
