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离子束
辅助
沉积
镀膜装置
本发明提供了一种
离子束
辅助
沉积
镀膜装置,包括:源系统:包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统,镀膜系统包括
离子
源、蒸发源、激光源或电子
束
,刻蚀系统包括
离子
源;真空系统:提供真空环境;走带系统:对带材进行收放卷;控制系统:...
朱佳敏
林晓辉
陈思侃
高中赫
孙树博
李鸿
曹森
陈永春
陈晓琦
用于
离子束
辅助
沉积
镀膜装置的走带系统
本发明提供了一种
离子束
辅助
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镀膜装置,包括:源系统:包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统,镀膜系统包括
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源、蒸发源、激光源或电子
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,刻蚀系统包括
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源;真空系统:提供真空环境;走带系统:对带材进行收放卷;控制系统:...
朱佳敏
柏培
高中赫
陈思侃
林晓辉
李鸿
曹森
陈永春
孙树博
陈晓琦
离子束
辅助
沉积
镀膜装置及镀膜方法
本发明提供了一种
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辅助
沉积
镀膜装置,包括:源系统:包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统,镀膜系统包括
离子
源、蒸发源、激光源或电子
束
,刻蚀系统包括
离子
源;真空系统:提供真空环境;走带系统:对带材进行收放卷;控制系统:...
朱佳敏
陈思侃
高中赫
李鸿
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陈永春
陈晓琦
孙树博
林晓辉
柏培
用于
离子束
辅助
沉积
镀膜装置的镀膜系统
本发明提供了一种
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离子
源、蒸发源、激光源或电子
束
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源;真空系统:提供真空环境;走带系统:对带材进行收放卷;控制系统:...
朱佳敏
林晓辉
柏培
陈思侃
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陈永春
李鸿
曹森
陈晓琦
孙树博
用于
离子束
辅助
沉积
镀膜装置的冷却系统
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源、蒸发源、激光源或电子
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源;真空系统:提供真空环境;走带系统:对带材进行收放卷;控制系统:...
朱佳敏
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陈思侃
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用于
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镀膜装置的镀膜系统
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朱佳敏
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陈永春
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曹森
陈晓琦
孙树博
用于
离子束
辅助
沉积
镀膜装置的走带系统
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高中赫
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用于
离子束
辅助
沉积
镀膜装置的
离子
源调整系统
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源、蒸发源、激光源或电子
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孙树博
林晓辉
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用于
离子束
辅助
沉积
镀膜装置的
离子
源调整装置
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源、蒸发源、激光源或电子
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陈永春
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用于
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辅助
沉积
镀膜装置的
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源调整装置
本发明提供了一种
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