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离子束辅助沉积镀膜装置
本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置,包括:源系统:包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统,镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子,刻蚀系统包括离子源;真空系统:提供真空环境;走带系统:对带材进行收放卷;控制系统:...
朱佳敏林晓辉陈思侃高中赫孙树博李鸿曹森陈永春陈晓琦
用于离子束辅助沉积镀膜装置的走带系统
本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置,包括:源系统:包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统,镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子,刻蚀系统包括离子源;真空系统:提供真空环境;走带系统:对带材进行收放卷;控制系统:...
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离子束辅助沉积镀膜装置及镀膜方法
本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置,包括:源系统:包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统,镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子,刻蚀系统包括离子源;真空系统:提供真空环境;走带系统:对带材进行收放卷;控制系统:...
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用于离子束辅助沉积镀膜装置的镀膜系统
本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置,包括:源系统:包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统,镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子,刻蚀系统包括离子源;真空系统:提供真空环境;走带系统:对带材进行收放卷;控制系统:...
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用于离子束辅助沉积镀膜装置的冷却系统
本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置,包括:源系统:包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统,镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子,刻蚀系统包括离子源;真空系统:提供真空环境;走带系统:对带材进行收放卷;控制系统:...
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用于离子束辅助沉积镀膜装置的镀膜系统
本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置,包括:源系统:包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统,镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子,刻蚀系统包括离子源;真空系统:提供真空环境;走带系统:对带材进行收放卷;控制系统:...
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用于离子束辅助沉积镀膜装置的走带系统
本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置,包括:源系统:包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统,镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子,刻蚀系统包括离子源;真空系统:提供真空环境;走带系统:对带材进行收放卷;控制系统:...
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用于离子束辅助沉积镀膜装置的离子源调整系统
本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置,包括:源系统:包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统,镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子,刻蚀系统包括离子源;真空系统:提供真空环境;走带系统:对带材进行收放卷;控制系统:...
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用于离子束辅助沉积镀膜装置的离子源调整装置
本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置,包括:源系统:包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统,镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子,刻蚀系统包括离子源;真空系统:提供真空环境;走带系统:对带材进行收放卷;控制系统:...
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用于离子束辅助沉积镀膜装置的离子源调整装置
本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置,包括:源系统:包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统,镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子,刻蚀系统包括离子源;真空系统:提供真空环境;走带系统:对带材进行收放卷;控制系统:...
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曾飞
作品数:156被引量:26H指数:3
供职机构:清华大学
研究主题:离子束辅助沉积 声表面波器件 存储器 多层膜 磁控溅射
柳襄怀
作品数:141被引量:568H指数:12
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
李德军
作品数:142被引量:165H指数:6
供职机构:天津师范大学
研究主题:纳米多层膜 磁控溅射 调制周期 离子束辅助沉积 射频磁控溅射
潘峰
作品数:125被引量:166H指数:6
供职机构:清华大学材料科学与工程系
研究主题:多层膜 离子束辅助沉积 微结构 声表面波器件 磁学性能
杭凌侠
作品数:193被引量:507H指数:12
供职机构:西安工业大学
研究主题:类金刚石薄膜 表面粗糙度 离子源 离子能量 光学薄膜