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一种基于双束聚焦离子显微镜制备页岩有机质超薄样品的方法
本发明提供了一种基于双束聚焦离子显微镜制备页岩有机质超薄样品的方法，属于页岩油气勘探开发领域。本发明所述方法采用聚焦离子束扫描电镜(FIB‑SEM)双束系统进行，在扫描电镜(SEM)下对页岩中的有机质孔隙发育区进行微区优...
腾格尔张斌方镕慧曾文人张聪陈维堃李浩涵张春贺徐培根王梓张远
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离子显微镜
一种离子显微镜，构建离子显微镜的方法，以及在离子显微镜中对准离子束的方法。所述离子显微镜包括：纳米孔离子源；和聚焦系统；其中，所述聚焦系统被配置为选择性地同轴聚焦离子束和电子束，所述离子束是通过所述电子束电离在所述纳米孔...
吉荣·安东·范卡恩
原子探针检查装置、场离子显微镜及失真修正方法
实施方式提供一种能够对进行试样的原子分布再构成后所得的图像，修正因试样的局部倍率而产生的失真的原子探针检查装置、场离子显微镜及失真修正方法。实施方式的原子探针检查装置具备变动部、检测部、特定部、制作部、推定部及再构成部。...
池田隆洋蔵本明圷晴子
氦离子显微镜的发展及现状
2022年
随着超尖端灯丝制作工艺的突破,气态场离子源技术得到了前所未有的发展,依托该技术成型的氦离子显微镜弥补了传统聚焦离子束的不足,将材料加工推进到纳米尺度,同时基于其轻质离子源的特性,实现在无镀层条件下的高分辨成像。本文对氦离子显微镜的原理进行了简单阐述,举例介绍了氦离子显微镜在高分辨成像、微纳尺度加工以及氦离子原位辐照等方面的最新进展。
田利丰刘培孟祥敏
关键词：微纳加工
一种用于氦离子显微镜成像质量校正的样品
本实用新型提供一种用于氦离子显微镜成像质量校正的样品，所述样品包括衬底、导电层和聚苯乙烯微球颗粒，衬底上覆盖导电层，聚苯乙烯微球颗粒分散固定在导电层上；或者包括块体导电材料和聚苯乙烯微球颗粒，聚苯乙烯微球颗粒分散固定在块...
温晓镭
一种用于氦离子显微镜成像质量校正的样品及其制作方法
本发明提供一种用于氦离子显微镜成像质量校正的样品及其制作方法，所述样品包括衬底、导电层和聚苯乙烯微球颗粒，衬底上覆盖导电层，聚苯乙烯微球颗粒分散固定在导电层上；或者包括块体导电材料和聚苯乙烯微球颗粒，聚苯乙烯微球颗粒分散...
温晓镭
文献传递
原子探针检查装置、场离子显微镜及失真修正方法
实施方式提供一种能够对进行试样的原子分布再构成后所得的图像，修正因试样的局部倍率而产生的失真的原子探针检查装置、场离子显微镜及失真修正方法。实施方式的原子探针检查装置具备变动部、检测部、特定部、制作部、推定部及再构成部。...
池田隆洋蔵本明圷晴子
文献传递
氦离子显微镜与扫描电镜联合表征多孔介质孔隙的方法
本发明涉及多孔介质孔隙的表征领域，涉及一种氦离子显微镜与扫描电镜联合表征多孔介质孔隙的方法。步骤为：制作多孔介质样品；使用扫描电镜对多孔介质进行成像；将多孔介质转移到氦离子显微镜中重新定位多孔介质的成像区域；使用氦离子显...
吴建国杨继进牛素鋆
氦离子显微镜与扫描电镜联合表征多孔介质孔隙的方法
本发明涉及多孔介质孔隙的表征领域，涉及一种氦离子显微镜与扫描电镜联合表征多孔介质孔隙的方法。步骤为：制作多孔介质样品；使用扫描电镜对多孔介质进行成像；将多孔介质转移到氦离子显微镜中重新定位多孔介质的成像区域；使用氦离子显...
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邱永鑫
作品数：20被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题：半导体测试 半导体 测量方法 显微镜系统 真空阀门
徐耿钊
作品数：82被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题：半导体测试 探针 原子力显微镜 半导体 超高真空
曾雄辉
作品数：107被引量：106H指数：6
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题：提拉法 闪烁晶体 半导体测试 位错 晶格畸变
刘宇
作品数：58被引量：233H指数：5
供职机构：中国科学院地质与地球物理研究所
研究主题：离子探针 锆石 二次离子质谱 轰击 正相关关系
薛钰芝
作品数：90被引量：178H指数：8
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研究主题：多层膜 太阳能电池 AL 光伏系统 光伏电池