搜索到962篇“ 硅加速度计“的相关文章
- 压阻式硅加速度计固有频率的解析计算
- 2012年
- 固有频率对硅加速度计的性能影响很大。针对目前硅加速度计的固有频率计算公式误差大的缺点,利用力学原理推导了悬臂梁式和双端梁式硅加速度计固有频率的计算公式。计算结果与有限元软件仿真分析的结果相符。推导的公式能快速准确地计算压阻式硅加速度计的固有频率,并可直接用来编程,避免了有限元仿真分析需要反复建模的复杂过程,简化了优化设计的过程。
- 邹海荣
- 关键词：压阻式硅加速度计固有频率悬臂梁
- 兼有测量压强、温度变化功能的微型硅加速度计及其加工方法
- 本发明为兼有测量压强、温度功能的微型硅加速度计。其既可以测量系统的压强、环境温度的变化，还可以测量加速度，本发明还提供了加工方法。其包括单片晶向的硅单晶衬底(1)，在硅衬底(1)的两面覆盖有复合膜绝缘层(2)，硅单晶衬底...
- 沈绍群
- 兼有测量压强、温度变化功能的微型硅加速度计及其加工方法
- 本发明为兼有测量压强、温度功能的微型硅加速度计。其既可以测量系统的压强、环境温度的变化，还可以测量加速度，本发明还提供了加工方法。其包括单片晶向的硅单晶衬底(1)，在硅衬底(1)的两面覆盖有复合膜绝缘层(2)，硅单晶衬底...
- 沈绍群
- 微硅加速度计标定及试验研究
- 微硅加速度计在军事及民用领域具有广阔的应用前景。本文研究了加速度计的误差模型及对加速度计的误差模型的标定。以三轴加速度计为试验研究对象,对加速度计的零偏、安装误差、刻度系数误差进行补偿,并对补偿后的效果进行分析与评价，且...
- 曹慧丹沈昱明赖际舟
- 关键词：加速度计漂移补偿
- 微硅加速度计标定及试验研究
- 微硅加速度计在军事及民用领域具有广阔的应用前景,本文着重研究了加速度计的误差模型及对加速度计的误差模型的标定。本文以三轴加速度计为试验研究对象,对加速度计的零偏、安装误差、刻度系数误差进行补偿,并对补偿后的效果进行分析与...
- 曹慧丹沈昱明赖际舟
- 关键词：加速度计
- 梳齿式微硅加速度计的结构失效及设计改进
- 探讨了MEMS梳齿电容式加速度计的加工工艺条件和版图设计规则,根据实际加工的样片,归纳了由于不合理的工艺和版图细节而产生的包括结构断裂、表面粘附、键合分层失效造成的“糊金”等失效现象,并对其进行机理研究和优化设计。通过合...
- 王益董景新刘云峰刘冬宁
- 关键词：微加速度计表面粘附优化设计
- 微硅加速度计中静电键合封接技术的应用被引量：1
- 2005年
- 在微硅加速度计的研制中,静电键合具有传统胶接技术所无法比拟的优点,是目前该加速度计研制中广泛应用的粘接技术。叙述了静电键合技术的机理和它在微硅加速度计装配中的具体工艺流程,指明了技术的关键之处,并分析了该技术的优缺点,提出了进一步改进的方案。
- 邓宏论
- 关键词：化学键微硅加速度计
- 微硅加速度计在定向钻进角度测量中的应用被引量：4
- 2004年
- 针对地下定向钻进角度测量的特殊要求,提出了用一个单轴和双轴微硅加速度计测量地下钻头倾角和面向角的方法,组建了角度测量系统,给出温度补偿措施及相应的实验结果。结果表明,系统不仅具有体积小、成本低等优点,而且系统精度优于1℃,非常适合地下钻进测量。
- 徐涛罗武胜吕海宝董文娟
- 关键词：加速度计定向钻倾角温度补偿
- 基于分立元件的电容式微硅加速度计闭环检测技术
- 本文针对分立元件电路噪声与干扰大的特点,设计了电容式微硅加速度计的闭环检测系统,讨论了该闭环检测系统的数学模型,对该闭环检测系统的性能进行了测试,并对测试结果作了简要分析.
- 肖定邦谢立强吴学忠
- 关键词：微硅加速度计MEMS调制解调
- 预载电压对力平衡式微硅加速度计性能的影响被引量：7
- 2004年
- 在实验中发现,力平衡式加速度计的施力电压变化范围和传统计算中的并不相同。为研究预载电压对加速度计性能指标的影响,重新推导了力发生器的传递函数和静电负刚度等参数的表达式。对参数的分析显示:预载电压直接影响了加速度计的灵敏度、量程和分辨力,但不影响非线性。在综合各种影响的基础上,提出了根据不同应用的要求选取预载电压的方法,并进行了实验验证。
- 李疆董景新刘云峰吴天准
- 关键词：微机械
相关作者
- 董景新
- 作品数：190被引量：550H指数：11
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：加速度计 微机械加速度计 微机电系统 微机械 微加速度计
- 吴学忠
- 作品数：467被引量：664H指数：14
- 供职机构：国防科学技术大学
- 研究主题：陀螺 振动陀螺 谐振子 谐振结构 微机电系统
- 温明生
- 作品数：15被引量：13H指数：3
- 供职机构：吉首大学
- 研究主题：传感器 硅 片式 加速度传感器 硅加速度计
- 刘理天
- 作品数：631被引量：884H指数：12
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：MEMS 硅基 硅 压力传感器 微机械
- 周兆英
- 作品数：632被引量：2,818H指数：27
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
- 研究主题：微型飞行器 MEMS 微机电系统 微型机械 传感器
