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研磨装置
本发明提供一种研磨装置，能够防止研磨液的磨粒、工件的研磨屑附着于光学传感器头，提高工件的膜厚的测定精度。研磨装置具备：研磨台(3)，该研磨台支承形成有通孔(4)的研磨垫(2)；光学膜厚测定系统(20)，该光学膜厚测定系统...
木下将毅盐川阳一田上景太
研磨装置
本发明提供一种研磨装置，包括研磨垫和研磨台，研磨垫放置于研磨台上，研磨台带动研磨垫同步旋转；待加工晶圆，待加工晶圆需进行金属结构的研磨；晶圆固定装置，其用于固定待加工晶圆；研磨修整盘，研磨修整盘包括衬底，衬底上设置有隔离...
张磊
研磨装置
本实用新型提供一种研磨装置，包括：主支架；研磨组件，所述研磨组件包括：研磨机构以及与所述研磨机构相配合的料盒，所述料盒用于容纳待研磨物，所述研磨机构用于从所述料盒接收所述待研磨物并将所述待研磨物研磨成料粉；所述研磨机构具...
段亚飞樊延安
研磨装置
本发明提供一种研磨装置，能够防止研磨液的磨粒、工件的研磨屑附着于光学传感器头，提高工件的膜厚的测定精度。研磨装置具备：研磨台(3)，该研磨台支承形成有通孔(4)的研磨垫(2)；研磨头(1)，该研磨头将工件(W)按压于研磨...
木下将毅
物料研磨装置
本公开涉及物料研磨装置，包括研磨平台，所述研磨平台的顶部设有环形状的研磨槽，所述的研磨槽内活动放置有至少一个的铁质材料的研磨球，所述研磨槽的底部开设有至少一个贯穿研磨平台的通孔，每个所述的通孔内均安装有带多个筛孔的筛分板...
周建国宋万军白龙王磊张鑫高敬文张国强吕波
物料研磨装置
本实用新型涉及电路板技术领域，公开了物料研磨装置，包括两组呈对称设置的研磨机构：所述研磨机构包括研磨箱，所述研磨箱内腔固定连接有固定研磨板，所述固定研磨板的上方设置有活动研磨板，所述活动研磨板的上表面固定连接有多组伸缩套...
陈群曾柳镇郭少龙
双面研磨装置
本实用新型涉及一种双面研磨装置，属于工件加工设备技术领域，包括机架本体，以及连接于机架本体上的滑台、上料组件、夹料组件、研磨组件和下料组件；所述上料组件和下料组件分别连接于滑台两侧，且上料组件的上料口与下料组件的下料口相...
邱少君贾学宝孙伟强
一种研磨装置
本发明涉及一种研磨机技术领域，具体涉及一种研磨装置；其包括机架、旋转机构组、固定组件、工装座，机架上设有两个安装座；旋转机构组，具有多组，包括第一旋转机构和第二旋转机构，第一旋转机构和第二旋转机构相对应的分别固定安装在两...
陈军张可夫黄艳平
一种研磨装置
本实用新型涉及研磨装置技术领域，具体地，涉及研磨装置。其中，一种研磨装置，包括：动力组件，一端设置有输出轴，所述输出轴上设置有研磨刀；容器组，设在所述动力组件靠近研磨刀的一侧，并且所述容器组与所述动力组件之间可拆装连接。...
赵鹏
一种研磨装置
本实用新型提供了一种研磨装置，涉及机械加工技术领域，所述研磨装置包括吊装杆及旋转工作台，吊装杆位于旋转工作台的上方，旋转工作台用于放置待研磨的凹面垫，凹面垫相对旋转工作台偏心设置，吊装杆的下端用于与待研磨的凸面垫摆动连接...
洪嵩源王楼郭人溥刘桐柱
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相关作者

陈燕
作品数：396被引量：325H指数：15
供职机构：辽宁科技大学
研究主题：磁力研磨 磁粒研磨 磁极 磁力 研磨装置
韩冰
作品数：276被引量：289H指数：12
供职机构：辽宁科技大学
研究主题：磁力研磨 磁粒研磨 磁力 磁极 研磨装置
萧金瑞
作品数：359被引量：63H指数：5
供职机构：广州大学
研究主题：研磨 研磨加工 灌溉 轴承 轴承套圈
文东辉
作品数：506被引量：753H指数：15
供职机构：浙江工业大学
研究主题：抛光 动压 研磨盘 抛光装置 研磨
陈松
作品数：129被引量：89H指数：7
供职机构：辽宁科技大学
研究主题：磁粒研磨 磁力 磁性磨料 研磨装置 磁力研磨