搜索到 篇“ 研磨液 “的相关文章

相关作者

陈岚
作品数：897被引量：164H指数：5
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：版图 电路 研磨 集成电路版图 CMP
徐勤志
作品数：81被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：研磨 研磨液 CMP 化学机械研磨 表面形貌
吕冰海
作品数：390被引量：724H指数：11
供职机构：浙江工业大学
研究主题：抛光 抛光液 磨粒 研磨 研磨盘
邓乾发
作品数：234被引量：204H指数：7
供职机构：浙江工业大学
研究主题：磨粒 抛光 抛光液 研磨 固着
刘晓初
作品数：625被引量：334H指数：10
供职机构：广州大学
研究主题：研磨 研磨加工 轴承 灌溉 轴承套圈