搜索到 篇“ 电容式微加速度计 “的相关文章

相关作者

董景新
作品数：190被引量：536H指数：11
供职机构：清华大学
研究主题：加速度计 微机械加速度计 微机电系统 微机械 微加速度计
彭勃
作品数：55被引量：70H指数：4
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
刘云峰
作品数：128被引量：611H指数：15
供职机构：北京大学第三医院
研究主题：早产儿 新生儿 微机械加速度计 加速度计 微加速度计
张照云
作品数：79被引量：25H指数：3
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
唐彬
作品数：107被引量：41H指数：3
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层