搜索到204篇“ 电子束刻蚀“的相关文章
- 一种将OLED和光晶体管集成装置和电子束刻蚀方法
- 本发明公开了一种将OLED和光晶体管集成装置和电子束刻蚀方法，包括OLED和光晶体管是串联关系，二者采用电子束刻蚀工艺通过绝缘电子束光刻胶连接，制作在基片上。光晶体管包括栅极、栅极绝缘层、源极、导电沟道、漏极；OLED包...
- 赵伟 宋波
- 一种缩小有机发光二极管像素尺寸的电子束刻蚀方法
- 本发明公开了一种缩小有机发光二极管像素尺寸的电子束刻蚀方法，包括以下步骤：(1)清洁基片；(2)将导电阳极溅射在基片上；(3)将电子束光刻胶涂敷在带有导电阳极的基片上；(4)在电子束光刻胶上刻蚀盲孔结构；(5)提高基片上...
- 赵伟 宋波
- 应用于电子束刻蚀的电子光学系统仿真设计研究
- 近年来,随着芯片行业快速发展,在很多领域中都会用到芯片,所以芯片的需求量急速上升,这也给芯片的加工制造带来了全新的挑战。目前芯片的加工技术主要是分为光刻技术和电子束刻蚀技术,电子束刻蚀技术在我国起步较早,有一定的基础,可...
- 田鹏
- 关键词：电子透镜平直度
- 基于蒙特卡洛方法的电子束刻蚀模拟研究
- 电子束光刻技术(EBL)是一项在半导体和纳米技术领域都起着重要作用的微细加工技术，相比于普通光学光刻技术，其具有着高分辨率、制掩模板能力强、高精度加工、容易控制等优势。但是MEMS微结构的精细化制备有着一套繁杂的流程，若...
- 代辉
- 关键词：电子束光刻蒙特卡洛方法
- 福建物构所基于电子束刻蚀实现中空核壳结构稀土上转换纳米晶的原位构筑
- 2018年
- 在国家自然科学基金杰出青年科学基金、科技部973计划、中科院战略性先导科技专项和创新国际团队等项目支持下,福建物构所中科院功能纳米结构设计与组装重点实验室陈学元研究小组和王元生研究小组合作,徐金博士等通过电子束辐照核壳结构稀土上转换纳米晶（NaLuF4：Gd/Yb/Er@NaLuF4：Nd/Yb@NaLuF4）发现同质包覆核壳结构纳米晶其内核与壳层界面处依然存在大量晶体缺陷,并且该界面缺陷浓度甚至高于内核中体相缺陷的浓度。
- 关键词：核壳结构纳米晶电子束刻蚀稀土杰出青年科学基金国家自然科学基金
- 多次扫描电子束刻蚀制作高频光栅的方法
- 本发明提供了一种多次扫描电子束刻蚀制作高频光栅的方法，其在普通扫描电镜中，利用电镜自身的电子束进行多次扫描，并选择适当扫描电镜工作参数，在涂有电子束感光胶的基片表面制备出了高质量的高频光栅，这种高频光栅可以广泛应用在电子...
- 赵燕茹邢永明侯小虎白朴存郎风超姜爱峰
- 文献传递
- 电子束刻蚀聚碳酸酯制备微孔分离膜
- 2016年
- 以电子束刻蚀技术和聚碳酸酯(Polycarbonate,PC)材料本身的辐照裂解特性,结合微孔掩膜和溶液氧化腐蚀的方法,成功制备了具有规则垂直孔道的PC微孔分离膜。用乌氏粘度计、凝胶渗透色谱仪、仪和傅里叶红外光谱分析仪表征辐照PC的结构和性能变化。结果表明,PC材料的黏均相对分子量、数均分子质量、玻璃化温度、黏均聚合度均随吸收剂量的增加而下降;红外分析表明PC在电子束照射下发生主链断裂;动力学分析表明其辐照降解属于无规降解类型,为电子束刻蚀制备PC微孔分离膜技术提供了理论依据。
- 王瑛郝旭峰吴新锋周瑞敏贾少晋
- 关键词：电子束刻蚀聚碳酸酯分离膜辐照降解
- 基于微芯片的透射电子显微镜的低温纳米精度电子束刻蚀与原位电学输运性质测量被引量：2
- 2014年
- 利用微芯片制备技术制备了带有电极的原位电学薄膜芯片,并结合自制的原位透射电镜样品台,实现了低温下透射电子显微镜聚焦电子束对InAs纳米线的精细刻蚀以及不同温度下的原位电学性能测量.研究发现,随着刻蚀区域截面积的减小,纳米线的电导率也随之减小.当纳米线的截面积从大于10000 nm2刻蚀至约800 nm2时,纳米线电导的减小速率与截面积的减小具有线性关系.同时利用低温聚焦电子束刻蚀,在InAs纳米线上原位制备了一个10 nm的纳米点,并在77与300 K下对该纳米点进行了电学性能测量.通过测量发现在77 K时出现库仑阻塞效应,发生了电子隧穿现象;而300 K时,热扰动提供的能量使这种现象消失.
- 张超方粮隋兵才徐强王慧
- 电子束刻蚀中邻近效应的修正
- 2013年
- 以拓展的三高斯邻近效应函数为基础,利用空间图形密度方法对电子刻蚀中的邻近效应进行修正,并对该方法的原理及实现步骤进行了较为详细的介绍.通过和传统的邻近函数为基础得到的修正结果相比,经过拓展后的邻近函数有着更好的修正效果.
- 肖沛
- 关键词：电子束刻蚀高斯函数
- 多次扫描电子束刻蚀制作高频光栅的方法
- 本发明提供了一种多次扫描电子束刻蚀制作高频光栅的方法，其在普通扫描电镜中，利用电镜自身的电子束进行多次扫描，并选择适当扫描电镜工作参数，在涂有电子束感光胶的基片表面制备出了高质量的高频光栅，这种高频光栅可以广泛应用在电子...
- 赵燕茹邢永明侯小虎白朴存郎风超姜爱峰
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- 作品数：128被引量：0H指数：0
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- 作品数：247被引量：175H指数：8
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- 研究主题：光纤 光纤光栅 光栅 解调系统 光纤传感
- 任芳芳
- 作品数：11被引量：0H指数：0
- 供职机构：武汉理工大学
- 研究主题：超材料 电子束刻蚀 偏振 光学器件 谐振器
- 朱凉伟
- 作品数：14被引量：0H指数：0
- 供职机构：浙江大学
- 研究主题：端基 电子束刻蚀 蜂窝状 基底表面 多孔膜
- 徐志康
- 作品数：481被引量：1,072H指数：17
- 供职机构：浙江大学高分子科学与工程学系
- 研究主题：纳米纤维 酶固定化 糖基化 聚酰亚胺 复合膜
