搜索到442篇“ 物镜设计“的相关文章
- 基于Zemax的三片式照相物镜设计与优化
- 2025年
- 对于三片式照相物镜的设计,首先,根据设计要求从已有专利、文献中选取一个与其相近的系统作为原始系统。其次,利用Zemax光学设计与仿真软件对初始结构进行整体缩放,直至符合设计要求值。最后,分别通过优化镜头诸面的面形参数及调制传递函数(MTF)曲线对像差进行优化与校正。得到一款焦距为30 mm,半视场角为25°,F数为4的三片式照相物镜。该镜头由1个弯月凸透镜、1个双凹透镜和1个双凸透镜组成。设计结果表明:整个光学系统为对称式结构,结构简单且紧凑,总轴长度为33.83 mm,光学系统的弥散斑较小,最大畸变小于0.017。
- 王宏哲李渊
- 关键词：ZEMAX光学设计
- 248nm深紫外投影物镜设计
- 光刻投影物镜光学系统是现代最精密、复杂的光学系统之一,在保证较高数值孔径(NA)、极小像差及大视场、双远心、物方工作距、后截距、系统共轭距等光学指标要求外还需要考虑机械结构的支撑精度、装配精度及温度变化对成像质量的影响。...
- 韩星
- 关键词：光学设计ZERNIKE多项式光机热集成分析
- 大数值孔径宽光谱折反式物镜设计(特邀)
- 2023年
- 为了满足半导体缺陷检测系统对成像系统高分辨的要求,依据系统的特点和设计指标,设计了一种近紫外-可见光大数值孔径折反式物镜。在近紫外-可见光波段对光学玻璃材料的色散特性进行分析,通过二级光谱理论计算,选择合适的玻璃材料,对光学系统的二级光谱进行了校正。该物镜使用11片球面透镜,结构紧凑。设计出一套光谱范围为360~520 nm、数值孔径为0.9、焦距为5.65 mm、视场大小为0.8 mm、工作距离为0.8 mm的物镜,采用无限远共轭折反式结构。设计结果表明:该物镜的MTF较好,全视场波像差小于0.09λ(λ=632.8 nm),各种几何像差均得到了较好的校正,满足复消色差条件,并且结构简单,具有较长的工作距离,为实际的生产装配和应用提供了便利。
- 严冬国成立刘泉黎发志余晨阳马洋张宇龙闫力松
- 关键词：宽光谱大数值孔径物镜设计光学设计
- 用于MEMS振镜激光扫描的显微物镜设计
- 2023年
- 为满足微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)二维激光扫描系统对显微物镜小入瞳直径、大入射角度、大视场的要求,利用光学设计软件Zemax设计了一款入瞳直径为1.1 mm,可匹配MEMS二维振镜±18°大扫描角度的近红外无限共轭微型显微物镜。该物镜总长小于23 mm,数值孔径为0.4,分辨率为1.26μm,工作距为900μm,各项像差校正良好,满足使用需求。设计结果表明,该微型显微物镜可满足便携式皮肤检测仪器的MEMS二维振镜激光扫描系统的应用要求。
- 王兴宇杨照清薛萌郭汉明
- 关键词：光学设计显微物镜大视场
- 宽波段平场复消色差显微物镜设计被引量：1
- 2023年
- 目前商品化的显微物镜的适用波段范围无法满足360~1000 nm波段范围的相关光子光斑的测量要求。从复消色差基础理论出发,研究了复消色差玻璃组合的选择方法,得到了二级光谱校正效果较好的玻璃组合。采用全球面折射式、无穷远校正的结构型式,设计出一款放大倍率为20倍、数值孔径为0.3、工作距离为10 mm、齐焦距为60 mm、视场为0.66 mm、工作波长范围为360~1000 nm的平场复消色差显微物镜。调制传递函数曲线在80 lp/mm处接近衍射极限,场曲校正满足平场的国际标准,其余成像指标也接近衍射极限。公差分析结果表明,该显微物镜满足设计和实际加工要求。
- 管鱼龙郑小兵翟文超
- 关键词：显微成像显微物镜装调
- 一种深紫外物镜设计中的调焦调平装置及其应用
- 本发明公开了一种深紫外物镜设计中的调焦调平装置及其应用；本发明装置将两个垂直放置且黏附在一起的U型弹簧片与深紫外物镜相连，通过两个可调节螺丝调整物镜和调焦调平单元的相对位置，调焦调平单元先扫描样品表面得到表面高低起伏，也...
- 李艳丽伍强刘显和
- 应用于划痕检测的白光共聚焦色散物镜设计
- 2023年
- 白光共聚焦位移传感器在机车轮轴划痕深度测量中有很好的适用性,色散物镜是决定传感器检测范围与分辨率的关键器件。根据检测需求,结合白光共聚焦原理和线性色散条件选择合适的初始结构,利用Zemax光学设计软件对初始结构进行优化与分析,设计了一款高线性度短共轭距色散镜头,测量范围为1 mm,工作光谱范围为400 nm~700 nm,镜头球差小于1.7μm,系统轴向位移分辨率为0.615μm,色散线性判定系数R2为0.9975,共轭距为104 mm,使镜头小型化的同时具有高分辨率和高线性度的优点。
- 张进向阳黄雷窦艳红
- 关键词：光学设计
- 光谱共焦显微镜用超大量程线性色散物镜设计
- 2023年
- 现有的光谱共焦显微镜色散物镜的量程大多在数毫米量级,为满足工业测量领域对大量程线性色散物镜的需求,文章从线性色散物镜设计原理出发,采用高性价比环境友好型光学玻璃,设计了一款仅由五片全球面镜片组成的超大量程线性色散物镜。设计结果表明,该物镜在400~700nm波长范围内的轴向色散达到30.44mm,且色散-波长线性度高于0.99,具有优异的线性关系,理论分辨率可以达到2.034μm。
- 周向东陈宇黄贤文朱金龙袁训禹聂磊董正琼
- 关键词：光学设计ZEMAX
- 基于光栅制造的光刻投影物镜设计
- 2023年
- 光栅尺作为位移传感器被广泛应用在精密测量体系中,随着测量趋于纳米级精度和大量程,对光栅尺的制造精度提出了更高的要求。刻线误差是影响光栅尺制造精度的重要因素,减小刻线误差能够有效提高光栅制造精度。设计了一种大孔径、低畸变的投影光刻物镜,并在Zemax光学设计软件中对物镜进行了设计及优化。结果显示,其全视场波像差小于λ/10,MTF>0.6,最大畸变<0.0037%,最大分辨率R=2μm,数值孔径NA=0.15,缩小倍率5×,最大焦深±9.73μm。对其进行公差分析,结果表明,该物镜完全满足提高光栅尺制造精度的需求。
- 任东旭班楠楠孔明旭李彬
- 关键词：投影光刻物镜光学设计
- 高数值孔径宽谱段折反射式物镜设计
- 2023年
- 针对基因测序、半导体检测、工业显微镜及生命医疗等领域对显微物镜日益增长的技术需求,成像谱段向着宽谱段深紫外(DUV)方向发展,目前非浸液式显微物镜存在数值孔径(NA)低、视场小、宽谱段内色差严重等问题。基于此,提出一款折反射式物镜。所提折反射式物镜具有宽谱段、高数值孔径、消色差等优点,根据折反射式结构的消色差光学特性,镜片只采用一种材料就可以校正色差。系统由12片镜片组成,数值孔径为0.91,成像谱段为深紫外到可见光(275~600 nm),最大视场为0.3 mm,系统全视场全谱段波像差小于0.033λ,消除了二级光谱,成像质量满足使用要求。
- 王超王超管海军曲贺盟张继真谢晓麟王宁
- 关键词：深紫外消色差
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- 王肇圻
- 作品数：207被引量：915H指数：20
- 供职机构：南开大学
- 研究主题：光学设计 波前像差 衍射 光学系统 光学系统设计
- 安志勇
- 作品数：223被引量：534H指数：11
- 供职机构：长春理工大学光电工程学院
- 研究主题：非接触测量 CCD 光学设计 激光雷达 平行光管
- 向阳
- 作品数：335被引量：1,195H指数：15
- 供职机构：同济大学
- 研究主题：光学设计 光学系统设计 内窥镜 文本 光学系统
- 张欣婷
- 作品数：33被引量：92H指数：6
- 供职机构：长春理工大学光电工程学院
- 研究主题：光学设计 光学系统设计 物镜设计 衍射 PSD
- 王文生
- 作品数：111被引量：372H指数：10
- 供职机构：长春理工大学
- 研究主题：联合变换相关器 目标识别 液晶 寻址 光学相关
