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激光剥离装置
本发明涉及柔性显示屏加工技术领域,尤其涉及一种激光剥离装置,包括玻璃基板、透明聚酰亚胺薄膜层、电涡流加热器和激光器;玻璃基板的顶面的中部设置有第一涡流感应区,顶面的四角处分别设置有第二涡流感应区。将透明聚酰亚胺薄膜层从玻...
李成明杨少延石超崔草香朱瑞平刘祥林郭柏君陈兆显
激光剥离设备
本发明公开了一种激光剥离设备,涉及激光剥离设备技术领域,激光剥离设备包括工作台、激光发生器和两个除尘装置,工作台具有前置除尘区和激光剥离区,工件至少能够自前置除尘区移动至激光剥离区;激光发生器,设于激光剥离区的上方,激光...
邹海天赵盛宇丁桐桐王江南
激光剥离装置
本实用新型提供一种激光剥离装置,包括:真空吸附平台以及厚度调节机构。厚度调节机构包括厚度调节件以驱动件,驱动件与厚度调节件驱动连接,厚度调节件在驱动件的作用下沿第一方向靠近或远离真空吸附平台。本申请的激光剥离装置能够提高...
邱成峰裴小明彭虎
激光剥离设备及其方法
本发明公开一种激光剥离设备及其方法,涉及激光剥离技术领域,其中,激光剥离设备包括:激光器用于发射激光光斑,驱动机构设于平台,以及用于承载产品的第一工作台和第二工作台,驱动机构用于驱动第一工作台和第二工作台沿平台移动,平台...
邹海天赵盛宇刘丁丁黄龙龙孙玉芬
激光剥离方法及其设备
本发明公开了一种激光剥离方法,适于使晶圆的磊晶层与基板分离,激光剥离方法包括下列步骤。在晶圆划分中心区域以及至少一环状区域,至少一环状区域围绕中心区域。在至少一环状区域内规划多条第一加工轨迹,并在中心区域规划多条第二加工...
陈鸿隆洪文庆
除尘装置和激光剥离设备
本发明公开了一种除尘装置和激光剥离设备,涉及激光剥离设备技术领域,其中,除尘装置应用于激光剥离设备,激光剥离设备包括激光发生器、及用于供剥离工件放置的工作台,除尘装置包括除尘罩,除尘罩包括至少两个气压腔,至少两个气压腔分...
赵盛宇李勃澎邹海天吴恒黄龙龙刘丁丁
一种表面涂层激光剥离装置
本实用新型涉及一种表面涂层激光剥离装置,包括设备机体,设备机体上设有激光发生装置,定位装置和涂层剥离控制系统,设备机体一侧设有激光冷却装置,激光发生装置一侧设有激光清洗头,激光清洗头上的激光输出端垂直向下,定位装置包括转...
张锐
一种加热激光剥离设备
本发明公开了一种加热激光剥离设备,包括激光剥离设备本体,所述激光剥离设备本体包括设置于下端的移动平台,所述移动平台设置有加热底座,所述加热底座上设置有样品台,所述加热底座包括设置于所述样品台下方且用于给所述样品台加热的电...
孙永健莫少琼豆学刚王光普郭坚
一种可调节光强型激光剥离装置
本发明涉及半导体制造技术领域,具体涉及一种可调节光强型激光剥离装置,包括剥离室和激光器,剥离室顶部设有光学窗口,剥离室底部设有样品托盘装置,还包括光强调节装置,光强调节装置装设于剥离室内,光强调节装置位于样品托盘装置上方...
李成明许水珍倪绿军陈建杨功寿王琦张国义
一种有机电致发光薄膜激光剥离方法
本发明涉及薄膜分离技术领域,本发明提供一种有机电致发光薄膜激光剥离方法,该技术结合图像采集与数字式线性霍尔传感器数据,精确评估薄膜平整度,据此调整激光剥离参数,提高剥离精度与成功率。通过红外激光烧蚀实现薄膜的有效剥离,并...
李成明石超杨少延崔草香刘祥林朱瑞平郭柏君陈兆显

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张国义
作品数:382被引量:509H指数:11
供职机构:北京大学
研究主题:氮化镓 GAN MOCVD 发光二极管 衬底
陈志忠
作品数:179被引量:307H指数:9
供职机构:北京大学
研究主题:GAN 氮化镓 发光二极管 衬底 出光效率
黄永安
作品数:356被引量:159H指数:7
供职机构:华中科技大学
研究主题:喷印 基板 电喷 喷嘴 喷头
张保平
作品数:119被引量:81H指数:5
供职机构:厦门大学
研究主题:氮化镓 分布布拉格反射镜 垂直腔面发射激光器 氮化物 激光剥离
应磊莹
作品数:57被引量:13H指数:2
供职机构:厦门大学
研究主题:氮化镓 分布布拉格反射镜 垂直腔面发射激光器 电流限制 激光剥离