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氮化镓器件
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时效性降序
时效性升序
相关度排序
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时效性降序
时效性升序
氮化镓
器件
及其制备方法
本申请实施例提供了一种
氮化镓
器件
及其制备方法,该
氮化镓
器件
包括外延层,外延层上设置有栅电极,栅电极下方的外延层中具有多个Y型纳米沟道,其中,多个Y型纳米沟道由两排相互对立排列的楔形凹槽形成。本申请实施例至少解决了相关技术...
武盛
代云飞
张煜
别业楠
刘海军
李文明
一种
氮化镓
器件
结构及其制备方法
本申请提供了一种
氮化镓
器件
结构及其制备方法,该方法首先提供
氮化镓
器件
,
氮化镓
器件
包括依次层叠的衬底、外延结构,然后再对
氮化镓
器件
的进行预设剂量和预设能量的辐照处理,通过辐照处理在外延结构中引入缺陷,实现对外延结构的内部陷...
吕纲
丁晓峰
李林
彭律章
许童童
程若昀
一种
氮化镓
器件
以及制备方法
本发明公开了一种
氮化镓
器件
以及制备方法。该
氮化镓
器件
包括:衬底;沟道层,位于衬底的一侧;复合势垒层,包括第一势垒层、第二势垒层和第三势垒层;第一势垒层位于沟道层远离衬底的一侧;第二势垒层位于第一势垒层远离沟道层的一侧;第...
宋亮
陈扶
赵杰
黄兴杰
尹杰
一种
氮化镓
器件
以及制备方法
本发明公开了一种
氮化镓
器件
以及制备方法。该
氮化镓
器件
包括:衬底、沟道层和复合势垒层,复合势垒层包括第一势垒层、第二势垒层、第三势垒层和第四势垒层;第一势垒层位于沟道层远离衬底的一侧;第二势垒层位于第一势垒层远离沟道层的一...
宋亮
陈扶
赵杰
一种
氮化镓
器件
的封装结构
本实用新型涉及一种
氮化镓
器件
的封装结构,包括:TO247封装框架、Cascode模块和塑封体,TO247封装框架包括框架本体和顺序排列的漏极引脚、源极引脚、开尔文源极引脚和栅极引脚,源极引脚与框架本体一体相连,漏极引脚和...
梁壮
蒋严伟
吴俊峰
黎子兰
一种
氮化镓
器件
以及制备方法
本发明公开了一种
氮化镓
器件
以及制备方法。该
氮化镓
器件
包括:衬底、沟道层和复合势垒层,复合势垒层包括第一势垒层、第二势垒层、第三势垒层和第四势垒层;第一势垒层位于沟道层远离衬底的一侧;第二势垒层位于第一势垒层远离沟道层的一...
宋亮
陈扶
赵杰
一种
氮化镓
器件
及
氮化镓
封装结构
本发明公开了一种
氮化镓
器件
及
氮化镓
封装结构,具体涉及
氮化镓
封装技术领域,包括
氮化镓
器件
本体,所述
氮化镓
器件
本体包括底封装件,所述底封装件的底端设有第二封装框,所述底封装件、第二封装框之间设有
氮化镓
芯片;本发明,通过设置底...
李慎初
一种功率
氮化镓
器件
及其形成方法
一种功率
氮化镓
器件
及其形成方法,本发明涉及功率半导体
器件
,在晶圆制造过程中缓冲层内会形成晶体缺陷,在晶体管关断及高漏极偏压的状态下,电子会从衬底注入并被捕获在缓冲层内的晶体缺陷中,为克服捕获的电子对
器件
造成的影响,本发明...
伍震威
单建安
一种
氮化镓
器件
制备方法及
氮化镓
器件
本发明实施例提供了一种
氮化镓
器件
制备方法及
氮化镓
器件
,涉及半导体技术领域。
氮化镓
器件
由
氮化镓
器件
制备方法制成,
氮化镓
器件
制备方法包括提供一
氮化镓
预制
器件
,上述
氮化镓
预制
器件
包括层叠设置的沟道层与势垒层、P型
氮化镓
层;在远...
廖富达
苗振林
任星霖
卢小杰
何晨光
赵维
陈志涛
一种
氮化镓
器件
形成方法及
氮化镓
器件
本发明涉及半导体制造技术领域,具体涉及一种
氮化镓
器件
形成方法及
氮化镓
器件
。本发明提供的
氮化镓
器件
的形成方法,包括以下步骤:提供待刻蚀基体;待刻蚀基体至少包括层叠设置的:衬底层、第一导电类型
氮化镓
层、量子阱层和第二导电类型...
吴小琦
黄凯
李金钗
杨旭
张荣
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郝跃
作品数:2,605
被引量:1,235
H指数:13
供职机构:西安电子科技大学
研究主题:势垒层 电极 场板 高电子迁移率晶体管 氮化镓
陈堂胜
作品数:434
被引量:344
H指数:9
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:高电子迁移率晶体管 氮化镓 砷化镓 GAN ALGAN/GAN_HEMT
刘新宇
作品数:893
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供职机构:中国科学院微电子研究所
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魏珂
作品数:235
被引量:71
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供职机构:中国科学院微电子研究所
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张进成
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