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氮化镓器件及其制备方法
本申请实施例提供了一种氮化镓器件及其制备方法,该氮化镓器件包括外延层,外延层上设置有栅电极,栅电极下方的外延层中具有多个Y型纳米沟道,其中,多个Y型纳米沟道由两排相互对立排列的楔形凹槽形成。本申请实施例至少解决了相关技术...
武盛代云飞张煜别业楠刘海军李文明
一种氮化镓器件结构及其制备方法
本申请提供了一种氮化镓器件结构及其制备方法,该方法首先提供氮化镓器件氮化镓器件包括依次层叠的衬底、外延结构,然后再对氮化镓器件的进行预设剂量和预设能量的辐照处理,通过辐照处理在外延结构中引入缺陷,实现对外延结构的内部陷...
吕纲丁晓峰李林彭律章许童童程若昀
一种氮化镓器件以及制备方法
本发明公开了一种氮化镓器件以及制备方法。该氮化镓器件包括:衬底;沟道层,位于衬底的一侧;复合势垒层,包括第一势垒层、第二势垒层和第三势垒层;第一势垒层位于沟道层远离衬底的一侧;第二势垒层位于第一势垒层远离沟道层的一侧;第...
宋亮陈扶赵杰黄兴杰尹杰
一种氮化镓器件以及制备方法
本发明公开了一种氮化镓器件以及制备方法。该氮化镓器件包括:衬底、沟道层和复合势垒层,复合势垒层包括第一势垒层、第二势垒层、第三势垒层和第四势垒层;第一势垒层位于沟道层远离衬底的一侧;第二势垒层位于第一势垒层远离沟道层的一...
宋亮陈扶赵杰
一种氮化镓器件的封装结构
本实用新型涉及一种氮化镓器件的封装结构,包括:TO247封装框架、Cascode模块和塑封体,TO247封装框架包括框架本体和顺序排列的漏极引脚、源极引脚、开尔文源极引脚和栅极引脚,源极引脚与框架本体一体相连,漏极引脚和...
梁壮蒋严伟吴俊峰黎子兰
一种氮化镓器件以及制备方法
本发明公开了一种氮化镓器件以及制备方法。该氮化镓器件包括:衬底、沟道层和复合势垒层,复合势垒层包括第一势垒层、第二势垒层、第三势垒层和第四势垒层;第一势垒层位于沟道层远离衬底的一侧;第二势垒层位于第一势垒层远离沟道层的一...
宋亮陈扶赵杰
一种氮化镓器件氮化镓封装结构
本发明公开了一种氮化镓器件氮化镓封装结构,具体涉及氮化镓封装技术领域,包括氮化镓器件本体,所述氮化镓器件本体包括底封装件,所述底封装件的底端设有第二封装框,所述底封装件、第二封装框之间设有氮化镓芯片;本发明,通过设置底...
李慎初
一种功率氮化镓器件及其形成方法
一种功率氮化镓器件及其形成方法,本发明涉及功率半导体器件,在晶圆制造过程中缓冲层内会形成晶体缺陷,在晶体管关断及高漏极偏压的状态下,电子会从衬底注入并被捕获在缓冲层内的晶体缺陷中,为克服捕获的电子对器件造成的影响,本发明...
伍震威单建安
一种氮化镓器件制备方法及氮化镓器件
本发明实施例提供了一种氮化镓器件制备方法及氮化镓器件,涉及半导体技术领域。氮化镓器件氮化镓器件制备方法制成,氮化镓器件制备方法包括提供一氮化镓预制器件,上述氮化镓预制器件包括层叠设置的沟道层与势垒层、P型氮化镓层;在远...
廖富达苗振林任星霖卢小杰何晨光赵维陈志涛
一种氮化镓器件形成方法及氮化镓器件
本发明涉及半导体制造技术领域,具体涉及一种氮化镓器件形成方法及氮化镓器件。本发明提供的氮化镓器件的形成方法,包括以下步骤:提供待刻蚀基体;待刻蚀基体至少包括层叠设置的:衬底层、第一导电类型氮化镓层、量子阱层和第二导电类型...
吴小琦黄凯李金钗杨旭张荣

相关作者

郝跃
作品数:2,605被引量:1,235H指数:13
供职机构:西安电子科技大学
研究主题:势垒层 电极 场板 高电子迁移率晶体管 氮化镓
陈堂胜
作品数:434被引量:344H指数:9
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:高电子迁移率晶体管 氮化镓 砷化镓 GAN ALGAN/GAN_HEMT
刘新宇
作品数:893被引量:313H指数:7
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化镓 刻蚀 欧姆接触 衬底 HEMT
魏珂
作品数:235被引量:71H指数:5
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化镓 势垒层 刻蚀 欧姆接触 ALGAN/GAN
张进成
作品数:1,037被引量:119H指数:6
供职机构:西安电子科技大学
研究主题:SUB 成核 势垒层 氮化镓 电极