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氢等离子体分解
本发明涉及一种用于电热组合生产氢气的方法，该方法包括：（i）提供等离子体处理单元，该等离子体处理单元具有包括第一电极和第二电极的等离子体处理室，以及与所述等离子体处理室流体连通的第一气体出口；其中等离子体处理室的基部形成...
戴维·爱德华·迪根唐怡然尼尔·爱德华·塞思·查曼彼得·迈克尔·基利-洛佩斯
利用氢等离子体处理的钨间隙填充
本文提供了用于填充基板的含硅介电层中的特征的方法和相关联的设备的实施方式。在一些实施方式中，填充基板的含硅介电层中的特征的方法包括：在第一处理腔室中经由物理气相沉积（PVD）处理在特征中沉积非连续衬垫层；在第二处理腔室中...
杨宗翰岳诗雨汪荣军
一种基于氢等离子体的固体样品化学蒸气发生进样方法
本发明公开了一种基于氢等离子体的固体样品化学蒸气发生进样方法。该方法包括如下步骤：将氢等离子体聚于待测固体样品上，经反应得到待测元素的化学蒸气。本发明中，氢等离子体直接作用于固体样品表面，与其中的元素进行化学反应生成元素...
邢志李铭杨萌
纯氢等离子体熔融还原炼铁方法
本发明公开了一种纯氢等离子体熔融还原炼铁方法，包括以下步骤：S1，将铁矿石装入熔融炉中，并排走熔融炉中的空气；S2，以氮气或惰性气体为起弧介质并启动等离子炬，通过等离子炬产生的高温氮气或惰性气体等离子体焰流从熔融炉的下侧...
史萍萍朱国敏李连春董春光张志军陶光乐
一种基于氢等离子体喷吹的高温合金返回料纯净化冶炼方法
本申请提供一种基于氢等离子体喷吹的高温合金返回料纯净化冶炼方法，涉及冶金领域。该方法包括：将回收的同一牌号高温合金返回料加入真空感应炉，将等离子体火炬从真空感应炉顶部伸进炉膛并下降至高温合金返回料的上方20‑50cm处，...
杨树峰赵朋魏光升刘威王曦伟张常乐
一种基于氢等离子体喷吹的高温合金返回料高效纯净化冶炼方法
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杨树峰赵朋魏光升刘威王曦伟张常乐
一种提升钝化接触结构性能的低温氢等离子体辅助退火方法和TOPCon太阳能电池
本发明公开了一种提升钝化接触结构性能的低温氢等离子体辅助退火方法和TOPCon太阳能电池，该退火方法是以氢气或含氢气的混合气体为工艺气体，对制备有钝化接触结构的硅片进行退火处理。本发明中，在高温烧结之后，通过在氢等离子体...
黄嘉斌赵增超李明周小荣陈俊刘湘祁谢湘洲申凯林成秋云
一种低能氢等离子体常温制备氢化半导体材料的方法、装置及应用
本发明涉及半导体材料表面工程技术领域，主要是一种低能氢等离子体常温制备氢化半导体材料的方法、装置及应用。本发明在样品台周围添加电磁线圈来产生磁力线，增加氢离子的密度，降低启动氢等离子体的功率，产生低能氢离子，然后采用低电...
王晓丹
一种利用氢等离子体还原制镁的装置及方法
本发明提供一种利用氢等离子体还原制镁的装置及方法，包括真空罐、冶炼炉、冷凝系统等离子发生器，真空罐内设有冶炼炉，冶炼炉的炉体内设有炉衬，炉体上端设有炉盖，所述炉盖上设置有进料口，所述炉体下端设置有排废口；所述炉体上部穿设...
侯星慧马成良周颖
基于电弧炉氢等离子体熔融还原技术的赤泥提铁方法
本发明涉及赤泥回收利用技术领域，尤指一种利用电弧炉和氢等离子体技术进行熔融还原，从拜耳法赤泥中提取工业纯铁的基于电弧炉氢等离子体熔融还原技术的赤泥提铁方法；所述的赤泥提铁的方法包括以下步骤：压制成坯；焙烧；熔融氢等离子还...
陈怀灿李一锋殷雯夏远光徐菊萍
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魏俊俊
作品数：215被引量：107H指数：6
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研究主题：金刚石 金刚石膜 单晶金刚石 微波等离子体化学气相沉积 纳米金刚石
陈良贤
作品数：200被引量：93H指数：5
供职机构：北京科技大学
研究主题：金刚石 金刚石膜 单晶金刚石 微波等离子体化学气相沉积 金刚石表面
李成明
作品数：339被引量：444H指数：11
供职机构：北京科技大学
研究主题：金刚石 金刚石膜 微波等离子体化学气相沉积 单晶金刚石 金刚石薄膜
刘金龙
作品数：200被引量：76H指数：4
供职机构：北京科技大学
研究主题：金刚石 金刚石膜 单晶金刚石 微波等离子体化学气相沉积 金刚石表面
马志斌
作品数：208被引量：391H指数：9
供职机构：武汉工程大学
研究主题：金刚石薄膜 金刚石 微波等离子体化学气相沉积 化学气相沉积 单晶金刚石