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气体流量控制装置
本实用新型为一种气体流量控制装置，主要包括一晶圆储存装置、一气体输入装置、一供气系统、一气体进气元件、一输入通道、一气体保压通道、一第一均流穿孔、一第一均流件、一第一均匀气体、一气体扩散均流穿孔、一气体扩散均流件、一扩散...
古至良
一种方便控制的气体流量控制方法及装置
本发明公开了一种方便控制的气体流量控制方法及装置，涉及到流量控制技术领域，其方法如下：S1、确定数值：先根据不同的使用需要确认所需使用到的气体，以及使用时不同情况下所需的气体压力数值；S2、数据设定：将相应的数据输送到控...
林广森开彪范艳喜
一种气体流量控制阀、气体输送装置及气体供应方法
本发明提供一种气体流量控制阀、气体输送装置及气体供应方法，所述气体流量控制阀，包含：第一阀体和第二阀体，第一阀体、第二阀体相对设置且互相平行，二者之间形成反应气体的气流通道；定义第一阀体、第二阀体之间的间距为气体流量控制...
徐志鹏倪图强连增迪
通过调整反应气体流量控制铈（Ce）的试样转化成氧化物的反应速率的方法
本申请的实施例涉及铈的氧化物的技术领域，具体涉及一种通过调整反应气体流量控制铈(Ce)的试样转化成氧化物的反应速率的方法，其包括：S1：确定反应过程中铈试样重量的变化率；S2：根据变化率，确定当前转化速率；S3：根据当前...
丁有钱张生栋陈锦黄昆姚曜晖孙晓祎
一种气体流量控制装置
本实用新型涉及气体流量控制技术领域，尤其是一种气体流量控制装置，包括气体控制装置主体、进气管和排气管，所述气体控制装置主体的内部设有气体流量可调结构，所述气体流量可调结构包括延伸块、气缸和气流腔，两个所述延伸块固定安装在...
刘激宏
一种集成气体流量控制以及分配的接头结构
本实用新型涉及燃料电池领域，具体为一种集成气体流量控制以及分配的接头结构，其包括接头本体，接头本体内设置气体通道，接头本体上设置三个节气门安装底座，三个节气门安装底座上分别设置空气系统电磁开关阀、氢气系统电磁开关阀和热管...
于本奇
半导体气体流量控制器原位校准装置研究
2025年
半导体制造需使用多种气体用于沉积、光刻等工序,气体流量控制的精度直接影响加工质量。而流量控制器需要经常检测和校准以确保其工作性能。半导体设备和工艺的特殊性决定了流量控制器只能进行原位校准。为解决流量控制器的原位校准问题,根据半导体设备的特点提出一种基于动态pVTt方法的流量控制器原位校准装置,基于CFD仿真对固定容器充气后的非稳态流场进行计算,并预测流场稳定后的平均温度,从而实现充气气体流量的快速检测。通过与高精度流量校准装置对比,装置可以实现N2介质50~50000 mm^(3)/s的流量校准,精度优于0.5%。
回博旭徐志鹏张高明周彬孙英恺
关键词：半导体气体流量流量控制器
一种防堵塞的气体流量控制装置及方法
本发明涉及气体输送技术领域，尤其为一种防堵塞的气体流量控制装置及方法，包括泵体、过滤箱和汇流箱，所述汇流箱的一侧连通设置有罩壳，所述罩壳的另一侧连通设置有出管，所述出管的表面固定有气压检测模块，所述泵体的出口连通设置有进...
林广森开彪范艳喜
一种回焊炉气体流量控制结构
本实用新型公开了一种回焊炉气体流量控制结构，涉及回焊炉技术领域，包括：连接槽，所述连接槽的底部固定安装有安装槽，所述安装槽的内部一侧固定安装有流速检测器，所述安装槽的底部固定安装有伸缩软管，所述伸缩软管的底部固定安装有固...
谢军军刘明胡英麟沈尚龙王志永施尚奎毛宇舟肖麒
气体流量控制方法及发动机系统
本发明公开了一种气体流量控制方法及发动机系统，涉及发动机进气流量控制技术领域。该气体流量控制方法通过获取拉瓦尔管的前腔室的压力和出口的压力，计算前腔室的压力与出口的压力的比值，判断前腔室的压力与出口的压力的比值是否在目标...
曲明帅张霞张勇袁东东万欣
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周金玉
作品数：26被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院金属研究所
研究主题：各向同性 热等静压 石墨坩埚 石墨复合材料 硼
徐红军
作品数：45被引量：99H指数：5
供职机构：中国科学院金属研究所
研究主题：各向同性 石墨复合材料 热等静压 石墨坩埚 硼
白朔
作品数：123被引量：274H指数：12
供职机构：中国科学院金属研究所
研究主题：热解炭 各向同性 微观结构 纳米碳管 石墨复合材料
陈立
作品数：69被引量：24H指数：3
供职机构：浙江大学
研究主题：复合激光 金属蒸气激光 接续管 探头 激光介质
周序科
作品数：39被引量：75H指数：5
供职机构：中国科学院金属研究所
研究主题：各向同性 热等静压 石墨坩埚 石墨复合材料 硼