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一种全息显微测量方法及装置
本发明公开了一种全息显微测量方法及装置,涉及光学成像和数字全息技术领域。用于解决现有的数字全息测量方法检测模式单一,二维和三维检测不能同时进行,而现有的多模式检测装置需要分时或多个探测器进行测量导致测量效率低、数据同步性...
李梦瑶尹尚军刘丙才蒋煜黄琳琳黎艺文田爱玲
一种基于阵列光斑点的三维形貌显微测量方法和显微装置
本发明涉及一种基于阵列光斑点的三维形貌显微测量方法和显微装置,所述方法包括:显微装置从下到上按设定采样间隔进行扫描,以采集待测对象不同焦平面上的点阵图像;根据提前标定好的各光斑点的光心位置,采用高斯曲面函数拟合计算不同焦...
华智捷张旭屠大维冯欣宇郑翰杰陈军
一种显微测量仪器及其吸附定位装置
本申请涉及显微镜技术领域,具体涉及一种显微测量仪器及其吸附定位装置,该吸附定位装置,包括支撑组件以及多个定位件,所述支撑组件用于放置样品;所述支撑组件设置于运动平台上,所述支撑组件能够跟随所述运动平台沿第一方向和/或第二...
钟上贵张琥杰
显微测量数据处理方法及系统
本申请提供一种显微测量数据处理方法及系统。在该方案中,显微测量数据处理系统包括显微测量装置,显微数据处理平台和显微测量数据库。其中,显微数据处理平台先接收显微测量装置采集的显微测量数据,并基于自适应规范方法对其进行归一化...
高栋刘俭董海江
暗场共焦显微测量宽度定值方法
本发明公开了一种暗场共焦显微测量宽度定值方法,包括基于暗场共焦显微镜通过调节成像端的探测孔径获取的下表面准焦反射图像P<Sub>R</Sub>和下表面准焦散射图像P<Sub>S</Sub>。基于深沟槽暗场共焦显微成像模型...
刘俭刘辰光姜勇由小玉
扫描电子显微成像系统及显微测量方法
一种扫描电子显微成像系统及显微测量方法,包括:样品台,用于放置样品;真空舱,具有装配端和密封端,真空舱的内部形成有贯通装配端和密封端布置的容纳腔;镜筒,用于加速电子并射出电子束至样品;镜筒设置于装配端,并与容纳腔密封连通...
朱春涛 邹功文 郭积健 张和君
一种全息显微测量方法及装置
本发明公开了一种全息显微测量方法及装置,涉及光学成像和数字全息技术领域。用于解决现有的数字全息测量方法检测模式单一,二维和三维检测不能同时进行,而现有的多模式检测装置需要分时或多个探测器进行测量导致测量效率低、数据同步性...
李梦瑶 尹尚军 刘丙才 蒋煜 黄琳琳 黎艺文 田爱玲
适用于显微测量数据的重构方法
本申请提供一种适用于显微测量数据的重构方法,可用于计算机视觉领域。首先,基于频域分析和统计分析技术,确定多个显微测量数据中是否存在需要修复的数据。然后,基于确定结果,对需要修复的显微测量数据进行修复。最后,将修复完成和无...
高栋刘俭董海江
一种适用于光谱显微测量的电化学原位池及系统
本申请提供了一种适用于光谱成像显微镜测试的电化学原位池及系统,工作电极设置在第一凹槽内,上盖沿第一方向还设置有第二通孔,上盖沿第一平面上设置有斜槽和第一连接孔。导电触片一端与工作电极接触,导电触片另一端延伸至上盖外部。对...
王海龙 熊剑峰 田景华 田中群
一种显微测量数据压缩感知方法
本申请提供一种显微测量数据压缩感知方法。可用于数字信号处理技术领域。该方法包括:在根据BP神经网络对显微测量数据进行分类得到多个分类数据后,根据预先设的稀疏变换基集合中的稀疏变换基,分别对每个分类数据进行稀疏变换,并在得...
高栋刘俭董海江

相关作者

刘俭
作品数:450被引量:91H指数:6
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:共焦 三维形貌 光学方法 像素 自由曲面
谭久彬
作品数:2,392被引量:1,460H指数:18
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:隔振器 精密测量仪器 转子 精密测量技术 隔振技术
王伟波
作品数:104被引量:27H指数:3
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:三维形貌 共焦 谐波 点扫描 高分辨力
唐燕
作品数:109被引量:44H指数:4
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
赵立新
作品数:229被引量:74H指数:6
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片