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旋转轴密封装置及使用其的半导体基板处理装置
本发明公开一种旋转轴密封装置。根据本发明一实施例的选择轴密封装置,其被安装在用于旋转供容纳半导体基板的半导体加载单元并处理所述半导体基板的半导体基板处理装置,包括:中空的外壳,其安装在所述半导体基板处理装置;旋转轴,其容...
李喜张
防磨轴的旋转轴密封
本实用新型公开了防磨轴的旋转轴密封圈,包括固定圈、活动圈、第一氟胶套、第二氟胶套、第三氟胶套,所述固定圈由同轴且依次相连的第一筒体、第一过渡环、第二筒体、限位环组成,第一筒体、第一过渡环、第二筒体、限位环为一体式结构,第...
黄文忠莫建华祝惠华陈云飞马佳郎张峰
一种用于自动反冲洗过滤器的旋转轴密封装置
本实用新型公开了一种用于自动反冲洗过滤器的旋转轴密封装置,涉及反冲洗过滤器相关技术领域。本实用新型包括壳体、固定盘和上安装盘,壳体的周侧上部固定有安装环,安装环的顶端设置有固定盘,固定盘的顶端中央固定有安装套,安装套的顶...
梁冲庞伟良崔帆
旋转轴密封装置
本实用新型涉及轴密封技术领域,且公开了旋转轴密封装置,包括密封套,所述密封套包括:底盘;密封盒,设置于所述底盘的一侧;加油孔,开设于所述密封盒的外侧壁;所述密封盒的一侧设有挡盖;所述底盘和所述挡盖的中心孔位置处设有密封轴...
王淇王景军刘四法
旋转轴密封结构
本发明公开了一种旋转轴密封结构,包括旋转轴(1)、端盖(2)及箱体(4),所述旋转轴(1)上设置有两个轴肩,分别为由外向内排列的第一轴肩(1a)及第二轴肩(1d),两个所述轴肩之间设置有多个甩油槽;所述端盖(2)上具有与...
李桂文李锡晗丁志文阳益江肖为
旋转轴密封组件
本实用新型提供了一种旋转轴密封组件,属于旋转轴封技术领域。它包括安装法兰和设置在安装法兰上的端盖,安装法兰和端盖之间形成轴封腔,安装法兰和端盖的相对侧上分别设有第一安装槽和第二安装槽,第一安装槽和第二安装槽内分别固连有第...
周绍植 朱伟海
一种新型旋转轴密封
本实用新型涉及密封圈技术领域,本申请公开了一种新型旋转轴密封圈,包括旋转轴主体,所述旋转轴主体内部开设有环形开槽,所述旋转轴主体内部开槽设置有可拆卸式的塑料挡板,所述塑料挡板内部卡合有密封圈主体,所述塑料挡板外圈贴合旋转...
申翠柏申美云李江胜曾令平罗勇李望平
一种真空设备旋转轴密封结构
本实用新型介绍了一种真空设备旋转轴密封结构,分别设置在旋转轴两端与设备侧壁连接处;包括固定座、滑动轴承、密封盘根、隔套、唇形密封圈、压盖和压紧螺栓;滑动轴承设置在固定座安装台阶的小径段内与旋转轴之间,密封盘根和唇形密封圈...
许建庄许渊许博张建功
水下作业设备旋转轴密封结构
一种水下作业设备旋转轴密封结构,用于水下作业设备旋转轴密封。进水流道为支撑框架,静螺旋桨的外缘固定在进水流道的内壁,旋转轴的一端与静螺旋桨、静螺旋桨内侧的动螺旋桨通过轴承连接,旋转轴另一端的内侧经减压组件与进水流道的内...
张树鹏孔超廖扬州王锦胜刘伟黄甡刘玉波刘杰刘丽敏李政张恪李文喜
一种螺旋输送机旋转轴密封
本实用新型的一种螺旋输送机旋转轴密封,包括输送机壳体,输送机壳体的表面中心开设有大通孔,输送机壳体通孔处设置有轴,轴与通孔连接处设置有O型密封圈,O型密封圈的前方套接设置有毛毡油封,毛毡油封的前方套接设置有骨架油封;输送...
管君

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