搜索到 篇“ 抛光表面 “的相关文章

相关作者

刘玉岭
作品数：481被引量：749H指数：13
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
沈涛
作品数：223被引量：131H指数：6
供职机构：哈尔滨理工大学
研究主题：光纤 磁场 光谱分析仪 传感装置 双参
胡明
作品数：286被引量：659H指数：14
供职机构：天津大学
研究主题：多孔硅 氧化钒薄膜 氧化钨 气敏传感器 氧化钒
马双云
作品数：30被引量：2H指数：1
供职机构：天津大学
研究主题：多孔硅 多孔 抛光表面 复合结构 气敏元件
程凯芳
作品数：17被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：相变存储器 纳米尺寸 相变材料 淀积 抛光表面