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带开关电源的感应耦合等离子体光源
一种用于产生光的方法和装置，包括一个腔室，该腔室具有高电压区域、低电压区域和限定了等离子体约束区域的等离子体生成区域。在腔室周围布置有磁芯，用于在等离子体约束区域内生成等离子体。开关电源系统包括直流电源和开关谐振充电电路...
F·M·尼尔三世D·K·史密斯M·M·贝森S·F·霍恩D·B·雷斯曼D·J·阿卡罗M·J·罗德里克
具有直接气体注入的感应耦合等离子体光源
一种具有直接进料气体注入的紫外光源，包括腔体，该腔体包含等离子体约束区域，并限定该等离子体约束区域附近的孔，用于透射等离子体产生的光。磁芯布置在等离子体约束区域周围，并被配置为在运行期间产生多个等离子体电流环，这些环在等...
D·K·史密斯S·F·霍恩M·J·罗德里克K·萨伊托W·内夫
感应耦合等离子体光源
用于UV光源的等离子体腔室包括规定等离子体限制区域的等离子体产生区域。端口被定位成与等离子体产生区域的一侧相邻，且允许产生的光传出腔室。高电压区域耦合到等离子体产生区域。接地区域耦合到高电压区域，并且规定被配置为耦合到地...
S·F·霍恩K·萨伊托W·内夫R·M·格日宾斯基M·J·罗德里克
感应耦合等离子体离子源放电特性仿真研究
2024年
针对于一款放电腔直径为60 mm的射频感应耦合等离子体离子源,采用数值模拟的方法研究了射频天线和放电腔结构对氩离子密度分布的影响。结果表明,相比于均匀绕制线圈,非等匝间距的射频天线可有效提高所产生等离子体中氩离子平均密度与其径向均匀性均;氩离子密度随着放电腔高度的增大先增大后减小,在高度为38 mm时达到最大值;使用阶梯式介质窗虽然可以提高氩离子的密度,但也增加了其被溅射的风险。将模拟计算结果应用于离子源实验装置的研制,实现了0.24 mA氩离子束稳定引出。
李日正倪国华孙红梅王城
关键词：离子源数值模拟感应耦合等离子体等离子体发生器
一种基于感应耦合等离子体的新型蜂窝吸波复合结构
本发明公开了一种基于感应耦合等离子体的新型蜂窝吸波复合结构，包括感应耦合等离子体激发装置，其包括电源系统和真空系统；电源系统包括放电腔室、射频电源及通过射频阻抗匹配器与射频电源连接的放电线圈；真空系统包括与放电腔室连通的...
魏小龙徐浩军常怡鹏韩欣珉张文远郭旭
感应耦合等离子体分析系统以及感应耦合等离子体分析方法
一种感应耦合等离子体分析系统，对被供给了测定对象的试料的等离子体的发光状态进行测定，该感应耦合等离子体分析系统具备：光谱仪，其将被设定于等离子体的测定区域中的发光分解为多个波长分量；检测装置，其对被分解后的光的空间分布进...
寺本庆之胁坂昭弘
刻蚀室及感应耦合等离子体刻蚀机
本实用新型涉及微纳米制造技术领域，尤其是涉及一种刻蚀室及感应耦合等离子体刻蚀机。所述刻蚀室，包括：室体，室体的内腔形成刻蚀腔；上电极组件，上电极组件设置在室体的顶部；上电极组件包括线圈支撑板、线圈公共接线端和多个电感线圈...
徐靖 葛连朋 马风尘 聂闯闯 李衍辉
在感应耦合等离子体处理室内以低偏压产生近衬底补充等离子体密度
衬底定位于电感耦合等离子体处理室的等离子体处理容积空间内的衬底支撑结构上。从第一射频信号发生器向设置在等离子体处理容积空间外部的线圈提供第一射频信号，以产生暴露于衬底的等离子体。从第二射频信号发生器向衬底支撑结构内的电极...
谭忠魁张依婷符谦徐晴吴垠萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼亚历克斯·帕特森
大功率高频感应耦合等离子体射流的静电三探针诊断方法
江福华
小型平面螺旋线圈射频感应耦合等离子体离子源研制
李日正
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宁兆元
作品数：128被引量：467H指数：14
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研究主题：等离子体 氟化非晶碳薄膜 ECR 感应耦合等离子体 光学带隙
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研究主题：INGAAS 铟镓砷 红外探测器 焦平面探测器 INGAAS探测器
龚海梅
作品数：462被引量：621H指数：13
供职机构：中国科学院上海技术物理研究所
研究主题：红外探测器 碲镉汞 INGAAS 铟镓砷 杜瓦
杨银堂
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研究主题：硅 片上网络 电路 CMOS 低功耗