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一种在微电子机械制造工艺中防止立体微结构侧壁底切刻蚀的方法
本发明涉及一种在微电子机械制造工艺中防止立体微结构侧壁底切刻蚀的方法，属于微电子机械系统制造技术领域，包括首先，通过LPCVD工艺在已经生成立体微结构的晶圆衬底表面沉积一层保角薄膜层作为保护层；然后，将不需要保护的区域采...
程文雍赵兴海
微电子机械系统陀螺仪
本发明公开了一种微电子机械系统陀螺仪，属于传感器技术领域。陀螺仪包括：基底、质量块组、驱动组件、检测组件、反馈组件和调频组件；质量块组包括多个第一质量块和多个第二质量块，驱动组件用于为多个第一质量块提供驱动力，多个第一质...
裘进杨云春
具有大面积的力场的微电子机械的扬声器
微电子机械的扬声器(100)，其包括具有基底表面(111)的基底(110)、布置在基底上的壳体(130)、由壳体和基底限界的空腔(140)。扬声器(100)还包括在空腔中沿预先给定的运动方向(x)能偏转地运动地布置的平移...
A·温登B·格尔D·迈尔P·恩格尔哈特
用于制造微电子机械振动系统的方法和压电微加工超声换能器
本发明涉及一种用于制造微电子机械振动系统的方法。在此，首先提供具有第一表面(4)的载体衬底(5)。接下来，产生环绕的第一槽(3a、3b)、尤其是第一沟道槽。第一槽(3a、3b)从所述载体衬底(5)的第一表面(4)至少部分...
T·沙里I·赖布勒R·勒德尔J·D·布雷姆J·巴德尔
用于制造微电子机械振动系统的方法和压电微加工超声换能器
本发明涉及一种用于制造微电子机械振动系统、尤其是压电微加工超声换能器(20a)的方法。在此，首先提供具有第一表面(3)的载体衬底(1)，并且接下来将第一钝化层(7)施加到所述第一载体衬底(1)的第一表面(3)上。接下来，...
T·沙里J·巴德尔R·勒德尔
基于微电子机械系统加工的光刻模拟工艺研究
2024年
微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)器件的制造离不开光刻工艺,而光刻工艺的优化对于提升MEMS器件的性能至关重要。针对MEMS加工中的光刻工艺展开研究,设计一套完整的光刻模拟工艺流程,包括光刻胶涂覆、曝光、显影、刻蚀和去胶等关键步骤。通过系统的实验和表征,优化各工艺参数,获得线宽低至0.5μm、深宽比大于20、侧壁角度接近90°的高质量硅微结构。所提出的MEMS光刻模拟工艺和优化方法,为高性能MEMS器件的制造提供了重要的理论和实践依据。
杨永杰康正阳尹春山
关键词：光刻工艺硅微结构
微电子机械系统器件及其制造方法
微电子机械系统器件包括设有凹槽的盖片，以及与盖片键合在一起并设有正对凹槽的功能腔的器件片。盖片包括基底、第一金属层和接地结构，该基底具有面向器件片的第一表面，凹槽设置在第一表面上，第一金属层和接地结构设置在第一表面上除凹...
陈秋玉占瞻钟浩明潘在祥黎家健
微电子机械设备
本公开的各实施例总体上涉及微电子机械设备。一种PMUT声换能器形成在半导体材料的本体中，该本体具有表面并且容纳第一埋腔，第一埋腔多个具有环形形状，彼此同心布置，并且从本体的表面延伸一定距离。第一埋腔从由本体形成的多个第一...
D·朱斯蒂F·夸利亚C·L·佩瑞里尼
微电子机械系统陀螺仪
本发明公开了一种微电子机械系统陀螺仪，属于传感器技术领域。陀螺仪包括依次键合的第一晶圆层、第二晶圆层和第三晶圆层；第一晶圆层上具有垂直于第一晶圆层的多个功能电极，相邻的功能电极之间具有垂直于第一晶圆层的隔离通孔，多个功能...
裘进王鹏辉杨云春郭鹏飞
微电子机械系统陀螺仪
本发明公开了一种微电子机械系统陀螺仪，属于传感器技术领域。陀螺仪包括：基底、质量块组、驱动组件和检测组件；质量块组包括四个驱动质量块、锚点结构、耦合弹性梁和多个Z轴检测质量块，四个驱动质量块以中心对称的方式通过锚点结构悬...
裘进杨云春
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廖小平
作品数：672被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学
研究主题：微波功率传感器 漏电流 硅基 悬臂梁 功率传感器
高杨
作品数：330被引量：569H指数：12
供职机构：西南科技大学
研究主题：微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
杨拥军
作品数：173被引量：239H指数：9
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
张大成
作品数：252被引量：429H指数：10
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
贾建援
作品数：273被引量：1,169H指数：14
供职机构：中兴通讯股份有限公司
研究主题：微电子机械系统 MEMS 微通道 原子力显微镜 PETRI网