搜索到 篇“ 微流量传感器 “的相关文章

相关作者

贾宏光
作品数：222被引量：1,146H指数：16
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：导引头 无人机 MEMS 电动舵机 捷联导引头
王家畴
作品数：81被引量：78H指数：6
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅片 单晶硅 衬底 热偶 热电堆
庞江涛
作品数：12被引量：52H指数：5
供职机构：清华大学
研究主题：微流量传感器 微流量 微机械 微电子机械系统 微型泵
吴一辉
作品数：488被引量：995H指数：15
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：微流控芯片 光纤 飞轮 MEMS 生物传感器
刘理天
作品数：631被引量：884H指数：12
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 硅基 硅 压力传感器 微机械