搜索到1774篇“ 微波功率传感器“的相关文章
- 一种基于轴状负载的微波功率传感器
- 本发明公开一种基于轴状负载的微波功率传感器,所述微波功率传感器,包括:同轴接头、隔热传输线结构、负载结构、扇状热电堆薄膜片和吸收腔体;所述同轴接头通过所述隔热传输线结构连接负载结构;所述同轴接头,用于接收和传输微波信号;...
- 刘挺杨绪军
- 一种倒装式片上微波功率传感器及制备方法
- 本发明公开了一种倒装式片上微波功率传感器及制备方法,包括传输基板和微波功率传感器,所述传输基板和微波功率传感器通过金属凸点进行倒装焊的形式进行封装;所述微波功率传感器的芯片上设置有金属凸点,所述传输基板设置有与所述金属凸...
- 王梓灏袁文泽崔孝海李向军严德贤聂禄吴昭春
- 微波功率传感器
- 本发明提供一种微波功率传感器,包括基板以及设置在基板上的热电堆、共面波导单元、第一匹配电阻、第二匹配电阻、第一V形梁和第二V形梁;共面波导单元与热电堆间隔设置;第一匹配电阻和第二匹配电阻间隔设置在热电堆和共面波导单元之间...
- 李维平董旭光王耀朱滨峰
- 基于固支梁压阻效应的微波功率传感器
- 本发明是一种基于固支梁压阻效应的微波功率传感器,包括高阻硅衬底,在高阻硅衬底上设置有共面波导传输线、固支梁,共面波导传输线包括CPW信号线和CPW地线,在CPW地线与CPW信号线之间还分别设置有固支梁桥墩,固支梁的两端分...
- 张焕卿宁楠楠陆颢瓒王德波
- 三指交错结构的电容式微波功率传感器
- 本发明公开了一种三指交错结构的电容式微波功率传感器,以砷化镓为衬底,在衬底上设计有共面波导传输线、在线电容式微波功率传感器,在线电容式微波功率传感器包括在衬底上交错地固定着三个MEMS悬臂梁,其中两个MEMS悬臂梁下表面...
- 戴瑞萍王德波
- 一种高过载水平的微波功率传感器及其控制方法
- 本发明公开了一种高过载水平的微波功率传感器及其控制方法。该传感器由衬底、共面波导传输线、悬臂梁、预设锚点和电容极板组成。预设锚点设置在悬臂梁固定锚点与共面波导传输线之间,电容极板被安置于悬臂梁的下方,与预设锚点分列共面波...
- 朱越金叶王德波
- 基于悬臂梁的d33的压电式微波功率传感器
- 本发明是一种基于悬臂梁的d33的压电式微波功率传感器,传感器包括高阻硅衬底,衬底上设置有共面波导传输线和压电悬臂梁,共面波导传输线包括中心信号线和地线,地线设置在中心信号线的两侧,压电悬臂梁通过桥墩固定在中心信号线和一侧...
- 陆颢瓒戴瑞萍王其鹏王德波
- 一种基于PT对称电路的在线式微波功率传感器
- 本发明公开了一种基于PT对称电路的在线式微波功率传感器,所述PT对称电路包括串联连接的增益端并联电路、MEMS可变电容与损耗端并联电路,该微波功率传感器通过将MEMS可变电容作为耦合电容接入一个处于EP点的PT对称电路系...
- 韩磊王睿
- MEMS微波功率传感器的悬臂梁弯曲模型研究
- 2023年
- 为了研究电容式MEMS微波功率传感器悬臂梁的非线性运动,建立了MEMS悬臂梁在空间域上的弯曲特性模型,综合考虑静电力、轴向应力以及残余应力对悬臂梁非线性运动的影响,求解得到动力学微分方程。在此基础上研究在不同杨氏模量、驱动电压和残余应力下悬臂梁的弯曲特性,解析得到对应的悬臂梁弯曲特性曲线与轴向应力曲线。使用有限元分析软件ANSYS对不同驱动电压下的悬臂梁下拉位移进行仿真,并对仿真结果与解析结果进行比较。结果表明,在驱动电压从10 V到20 V的变化过程中,仿真结果与模型解析结果具有一致的趋势,两者间的最大误差仅有8.81%。对电容式MEMS微波功率传感器的悬臂梁弯曲特性的研究具有一定的参考价值和指导意义。
- 王德波孙浩宇
- 关键词:MEMS微波功率传感器悬臂梁
- 一种高灵敏度在线式MEMS微波功率传感器被引量:2
- 2023年
- 为了改善在线式MEMS微波功率传感器的灵敏度特性,设计了一种新型双悬臂梁结构的MEMS微波功率传感器。该结构将测试电极和锚区设计在中心信号线的两侧。建立了双悬臂梁集总电路等效模型,研究了双悬臂梁结构的微波功率传感器的微波特性。构建了枢纽式双悬臂梁静力学模型,研究并分析了新型悬臂梁结构的过载功率与灵敏度。结果表明,相比于测试电极和锚区位于信号线同侧的传统单悬臂梁结构,新型双悬臂梁结构的灵敏度提升了6~8倍。这在一定程度上解决了电容式微波功率传感器检测灵敏度较低的问题。
- 金叶王德波
- 关键词:微波功率传感器电容式灵敏度MEMS
相关作者
- 廖小平

- 作品数:672被引量:0H指数:0
- 供职机构:东南大学
- 研究主题:微波功率传感器 漏电流 硅基 悬臂梁 功率传感器
- 王德波

- 作品数:185被引量:54H指数:4
- 供职机构:南京邮电大学
- 研究主题:悬臂梁 微波功率传感器 压电式 压电层 微波功率
- 韩磊

- 作品数:202被引量:30H指数:3
- 供职机构:东南大学
- 研究主题:共面波导 微波功率 微波功率传感器 微机械开关 地线
- 闫浩

- 作品数:69被引量:1H指数:1
- 供职机构:东南大学
- 研究主题:端口 微波功率传感器 检测器 微波频率 微波信号
- 张志强

- 作品数:331被引量:779H指数:14
- 供职机构:东南大学
- 研究主题:微波功率 微波功率传感器 砷化镓衬底 微机械 热电堆