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微桥结构及其制备方法
本发明提供了一种微桥结构及其制备方法，属于光学技术领域。该微桥结构包括：吸收层、热敏层和电连接层；其中，所述吸收层、所述热敏层和所述电连接层沿着入射辐射的入射方向依次排布；所述吸收层面向入射辐射的一侧设置有微纳结构，所述...
郝成龙谭凤泽朱健
微桥结构及红外探测器
本申请提供一种微桥结构及红外探测器，涉及红外探测技术领域，用于解决热学特性和稳定性需要提升的技术问题，其中，沿远离衬底的方向，第一桥臂层、第二桥臂层和桥面层依次间隔排布，第一桥墩连接第一桥臂层和桥面层，第二桥墩连接第一桥...
宁坤奇
微桥结构及其制备方法
提供一种微桥结构及其制备方法，微桥结构用作非制冷红外焦平面探测器的像元，微桥结构包括衬底、桥墩、桥臂、热敏感桥面，衬底包含读出电路，微桥结构还包括吸气剂支撑锚柱，吸气剂支撑锚柱的材质为非蒸散型吸气剂；吸气剂支撑锚柱一体地...
黄添萍
改善晶圆上层微桥结构关键尺寸均匀性的方法
一种改善晶圆上层微桥结构关键尺寸均匀性的方法包括步骤：S1，提供晶圆；S2，在晶圆的表面上沉积微桥结构的下保护层；S3，在下保护层的表面形成微桥结构的电介质层；S4，在电介质层的表面上沉积形成微桥结构的上保护层；S5，在...
温斐旻闫丽荣王岳李海涛
用于小像元微测辐射热计的天线耦合微桥结构及制备方法
本发明公开了一种用于小像元微测辐射热计的天线耦合微桥结构及制备方法，属于光电探测技术领域。本发明将螺旋天线与电极桥腿相间排布，提高了小像元微桥结构热隔离支撑桥腿的占比，使桥腿延长热导率降低，提升了微测辐射热计的温升；采用...
赖建军杨静黄立高健飞王春水汪超叶帆
一种微桥结构红外探测器
本公开涉及一种微桥结构红外探测器，微桥结构红外探测器中的CMOS测量电路系统和CMOS红外传感结构均使用CMOS工艺制备，CMOS制作工艺包括金属互连工艺、通孔工艺、IMD工艺以及RDL工艺，微桥结构红外探测器中的柱状结...
翟光杰潘辉武佩翟光强
一种驱动桥臂型微桥结构
本发明公开了一种驱动桥臂型微桥结构，通过引入驱动桥臂结构，对驱动桥臂施加电压产生焦耳热，利用桥臂材料的热膨胀效应使得桥臂运动，由于形成桥臂材料的热膨胀系数不同，在温度升高后，桥臂能向一侧弯曲，从而可将桥面整体抬高，更好地...
黄添萍李海涛
一种红外微桥结构及红外探测器
本公开涉及一种红外微桥结构及红外探测器，红外微桥结构中，CMOS测量电路系统和CMOS红外传感结构均使用CMOS工艺制备，沿远离CMOS测量电路系统的方向，梁结构依次包括第一介质层、电极层和第二介质层，柱状结构为实心柱状...
翟光杰潘辉武佩翟光强
一种非制冷红外探测器及其微桥结构
本申请涉及非制冷红外探测器领域，公开了一种非制冷红外探测器的微桥结构，包括：衬底；设于所述衬底上表面、相对设置的桥柱；设于所述桥柱之间且由所述桥柱支撑悬在所述衬底上方的膜系谐振腔，所述膜系谐振腔由多层层叠的薄膜组成；设于...
黄添萍李海涛
一种新型微桥结构及其制备方法
本发明属于非制冷红外探测器技术领域，公开了一种新型微桥结构及其制备方法。所述微桥结构包括桥面以及锚柱，所述锚柱用于支撑桥面并连通桥面和衬底；所述锚柱包括通孔介质以及分布于通孔介质中的多根金属通孔柱，所述多根金属通孔柱将桥...
黄添萍李海涛
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康晓旭
作品数：433被引量：6H指数：1
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：像元 红外探测器 衬底 牺牲层 微桥结构
蒋亚东
作品数：1,485被引量：1,373H指数：14
供职机构：电子科技大学
研究主题：基板 有机电致发光器件 柔性衬底 气体传感器 导电聚合物
王军
作品数：398被引量：28H指数：3
供职机构：电子科技大学
研究主题：微桥结构 太赫兹 太赫兹辐射 太赫兹波 光电探测器
苟君
作品数：120被引量：23H指数：2
供职机构：电子科技大学
研究主题：微桥结构 太赫兹 金属薄膜 太赫兹辐射 太赫兹波
吴志明
作品数：253被引量：359H指数：11
供职机构：电子科技大学
研究主题：氧化钒薄膜 微测辐射热计 太赫兹 微桥结构 磁控溅射