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一种微机械谐振器及其制备方法
本发明属于微电子技术领域，公开了一种微机械谐振器及其制备方法。微机械谐振器包括衬底硅片和谐振器结构，谐振器结构包含谐振振子和支撑梁，衬底硅片具有空腔结构，谐振振子悬空于空腔结构的上方，谐振振子通过支撑梁与衬底硅片连接，支...
吴国强肖宇豪陈文韩金钊
一种考虑热弹性损耗的微机械谐振器及其制备方法
本发明公开一种考虑热弹性损耗的微机械谐振器及其制备方法，谐振器包括衬底层、埋氧层和器件层，所述衬底层具有空腔结构，所述器件层包括悬浮设置在所述空腔结构上方的谐振振子，所述谐振振子的结构沿<100>至<1...
吴国强李博文肖宇豪李龙龙华兆敏
一种复合结构微机械谐振器及其加工方法
本发明涉及微电子技术的技术领域，具体涉及一种复合结构微机械谐振器及其加工方法，复合结构微机械谐振器包括：固定部件、谐振振子、支撑梁；所述固定部件具有空腔结构；所述谐振振子通过所述支撑梁悬于所述空腔之上；所述谐振振子由n型...
吴国强李龙龙韩金钊李灿李博文
一种恒温控制微机械谐振器
本发明属于微机械谐振器技术领域，公开了一种恒温控制微机械谐振器，包括加热梁、隔热框、谐振振子和支撑梁，谐振振子位于隔热框围成的内部区域中，谐振振子通过支撑梁与隔热框的内侧连接，隔热框的外侧与加热梁连接；隔热框由声子晶体阵...
吴国强肖宇豪陈文贾文涵韩金钊
一种微机械谐振器的制备方法
本发明提供一种微机械谐振器的制备方法，其包括以下步骤：获取衬底结构，所述衬底结构形成有谐振部以及处于所述谐振部两侧且呈间隔设置的两个电极部；在所述衬底结构上生长牺牲层并图形化，呈部分显露所述谐振部以及所述两个所述电极部设...
杨晋玲逯玉洁朱银芳刘文立杨富华
一种具有耦合结构的微机械谐振器及其制备方法
本发明属于微电子技术领域，公开了一种具有耦合结构的微机械谐振器及其制备方法。微机械谐振器包括衬底硅片和谐振器结构层，衬底硅片具有空腔结构，谐振器结构层包括谐振振子和锚点结构，谐振振子包括振动结构和耦合结构，振动结构为压电...
吴国强陈文 肖宇豪 贾文涵 韩金钊
具有异相和平面外挠曲模式谐振器部分的微机械谐振器
一种微机械谐振器管芯(700，图7)，包括：微机械谐振器管芯层(例如，702、704、706、708)；空腔(712)，该空腔形成在微机械谐振器管芯层(例如，702、704、706、708)中的至少一个层中；以及微机械谐...
H·曼苏尔扎雷严廷达J·塞戈维亚·费尔南德斯B·巴赫尔
参激微机械谐振器幅频响应的翘尾效应及其电热调控被引量：1
2024年
静电参激的微机械谐振器具有响应幅值大、相位噪声小等优势,近年来成为MEMS动力学领域研究热点.本文研究了微机械梁谐振器在强静电参激下的高阶非线性响应及基于电热电流的响应调控方法.首先,实验发现强静电力参数激励下微机械梁谐振器的幅频响应不再是Duffing硬化曲线,而在响应后半段出现“翘尾”现象.接着,建立了非线性谐振器的参激动力学模型,理论分析表明“翘尾”现象是由非线性阻尼和高阶非线性刚度共同作用引起.然后,研究了梁本体的电热电流对参激响应的影响规律,电热电流的引入会增加微谐振器的热弹性阻尼和轴向应力,从而实现响应幅值和共振区间的大幅调控.
刘中华徐友良宦荣华
关键词：非线性
微机械谐振器和用于微机械谐振器的方法
本公开描述微机械谐振器、用于谐振器的谐振器元件以及用于微调谐振器的方法。谐振器包括具有长度、宽度和厚度的谐振器元件，其中所述长度和所述宽度限定谐振器元件的平面。谐振器元件在谐振器元件的平面中包括至少两个区域(52、53)...
A·亚科拉T·潘萨拉A·奥加P·派克J·R·德克
微机械谐振器
本公开描述一种微机械谐振器，所述微机械谐振器包括具有长度(l<Sub>1</Sub>)和与长度垂直的宽度(w<Sub>1</Sub>)的谐振器元件(40)。谐振器元件具有在1.8至2.2的范围内的长宽比。谐振器元件悬置到...
A·亚科拉P·派克
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陈文
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研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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作品数：487被引量：256H指数：7
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：淀积 电极 相变存储器 谐振器 纳米尺寸
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 磁场传感器 键合 热电 干法刻蚀
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供职机构：武汉大学
研究主题：微机械谐振器 振子 谐振器 谐振 谐振结构