搜索到11017篇“ 微加工技术“的相关文章
- 激光微加工技术在高精度金属零件制造中的应用研究
- 2024年
- 文章综合分析了光纤激光器、固体激光器、CO_(2)激光器以及飞秒激光器共4种常见的激光微加工技术,探讨了它们在精密切割、微孔钻孔、高精度雕刻和表面处理等方面的应用。进一步明确了激光微加工在材料兼容性、热影响区和设备成本方面的局限,并提出了针对性的优化措施,如特殊波长激光系统的开发、脉冲调制技术和智能化操作系统的应用,以提升技术的应用广度和效率。这些措施将有望推动激光微加工技术在未来高精度制造业中的进一步应用和发展。
- 梅虎程方勇薛西玲
- 关键词：激光微加工金属零件光纤激光器
- 太赫兹真空器件中超深金属慢波结构的微加工技术
- 2024年
- 太赫兹真空电子器件物理结构尺寸变化随着波长的减小而减小,对微小结构的尺寸精度与表面粗糙度要求也大大增加。随着器件频率进入到太赫兹频段,慢波结构的深度达到几十微米或者百微米量级,加工的难点主要有:材料为金属,结构超深,表面粗糙度要求达到几十纳米量级,微电铸后金属含氧量极小,结构密度大不漏气,经得起后续近千摄氏度的高温处理工艺等。文章介绍了太赫兹频段下器件慢波结构的加工方式,着重讨论利用深反应离子刻蚀(DRIE)技术和紫外−光刻、电铸(UV-LIGA)技术加工超深金属慢波结构的技术和和特点,并介绍了本实验室利用UV-LIGA加工折叠波导的研究进展。
- 姜琪李兴辉冯进军蔡军潘攀
- 关键词：深反应离子刻蚀慢波结构
- 教育部高等学校电工电子基础课程教学指导分委员会推荐教材 微加工技术工艺原理与实验
- 本书系统介绍了微加工技术工艺原理和实验教程。本书内容理论和实验相结合，涵盖了微加工技术工艺中的光刻、刻蚀、薄膜沉积、氧化和掺杂等工艺。理论部分着重对各种工艺技术的原理进行阐述。实验部分列举了光刻、刻蚀、薄膜制备和掺杂四大...
- 陈军
- 激光微加工技术在航空发动机维护和翻修工作中的应用
- 2024年
- 航空发动机长期处于高温、高频率的工况时,发动机叶片等零部件老化速度较快,需要对发动机定期开展维护和翻修工作。使用激光微加工技术可以进行快速的表面处理,包括进行涂覆层的重构、去除表面污垢等。分析在航空发动机维护和翻修工作中如何使用激光微加工技术进行微纳构造处理、激光清洗,以及如何使用增材制造技术,帮助维修技术人员了解激光微加工技术的特点和应用方法,提高航空发动机维护和翻修工作水平,保证发动机处于正常工作状态。
- 孙旭东李霞高明
- 关键词：航空发动机翻修
- 基于电化学微加工技术的多元兼容集成制造工艺及其应用被引量：1
- 2023年
- 随着摩尔定律日益趋近其发展极限,高集成、多功能微机电系统(MEMS)器件为智能化应用的发展提供持续不竭的动力.若要实现兼容更多功能部件的系统集成,关键是要突破多元材料、复杂结构难以异质异构集成制造的工艺难题.基于电化学微加工的多元兼容集成制造技术,以其低温且易于集成的工艺属性展现了材料多样性、结构多样性和工艺多样性兼容集成的潜力,提供了有效解决上述难题的优势技术途径,为面向重大需求的高性能、智能化、微型化的MEMS器件奠定技术基础.本文对典型MEMS微加工技术的兼容性进行分析,阐述基于电化学微加工技术的多元兼容集成制造工艺的技术内涵、发展潜力、关键技术和阶段成果,并进一步探讨了后续发展亟需解决的基础科学问题.
- 蔡涵李洪涛孙云娜孙云娜王艳汪红
- 一种基于微加工技术的体外血管化3D组织的制备方法
- 本发明提供了一种基于微加工技术的体外血管化3D组织的制备方法，属于微流控技术、组织工程、材料化学等领域。该方法包括软模板的制备、内皮组织的预成型、体外3D组织块的成型、体外3D组织块的培养等步骤。本发明利用精准可控的微加...
- 秦建华刘海涛
- 基于飞秒激光微加工技术的波导传感器研究
- 光波导是集成光子学领域中的一种基本装置，它能够将光严格束缚在极小的通道内进行无衍射的传输，并且可以保证通道内的光密度达到较高的水平。一般来说，光波导具有极小的体积，它可以根据不同的需求来制作不同的集成光子电路，例如分束器...
- 查浩
- 面向微操作的亲水/疏水图案激光微加工技术研究
- 利用液体表面张力实现微操作的方法，因具有操作效率高，可减小基板受到的冲击力和局部应力，同时能实现芯片的自对齐等优势而越来越受欢迎。实现该微操作的前提是基底的润湿性可调控。现有的改变材料表面润湿性的方法大都存在环境污染、加...
- 韩玺
- 关键词：激光加工微操作润湿性硅基底
- 不锈钢曲面微织构多轴联动激光微加工技术研究
- 微织构是指具有特定排列方式的微小结构阵列,它具有很多优异的功能,如超疏水、减反射、减摩擦等。特别地,曲面微织构已被广泛应用于摩擦学、光学和仿生学等多个领域。由于表面功能性与微织构形貌紧密相连,因此如何制备高精度曲面微织构...
- 李鹤
- 关键词：激光加工
- 一种飞秒激光微加工技术制备螺旋型啁啾光纤光栅的方法
- 本发明公开了一种飞秒激光微加工技术制备螺旋型啁啾光纤光栅的方法，包括以下步骤：S10截取一段不剥除涂覆层的单模光纤后将其固定在三维位移平台上；S20调节三维位移平台使光纤处于100倍镜油浸焦距内，S30设计螺旋线参数，根...
- 李正勇梁磊涂彬
相关作者
- 周再发
- 作品数：182被引量：82H指数：4
- 供职机构：东南大学
- 研究主题：残余应力 绝缘衬底 杨氏模量 多晶硅 元胞自动机
- 黄庆安
- 作品数：922被引量：857H指数：13
- 供职机构：东南大学
- 研究主题：MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
- 虞益挺
- 作品数：100被引量：178H指数：8
- 供职机构：西北工业大学
- 研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 锚点 光纤
- 蔡军
- 作品数：245被引量：193H指数：8
- 供职机构：中国电子科技集团公司第十二研究所
- 研究主题：行波管 慢波结构 折叠波导慢波结构 电子注 折叠波导
- 王涓
- 作品数：12被引量：95H指数：3
- 供职机构：东南大学
- 研究主题：各向异性 微加工技术 微机电系统 各向异性腐蚀 元胞自动机
