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- 一种常压化学气相沉积设备
- 本发明公开一种常压化学气相沉积设备，涉及常压化学沉积技术领域，包括进气箱、扩散头、加热体组件、横臂、转台、机械手、装料运载平台、晶圆料车、风机过滤机组和真空系统；风机过滤机组设置于所述装料运载平台上方；所述机械手设置于所...
- 刘鹏 徐文立 余圣杰 潘建栋
- 常压化学气相沉积制备二硫化钽的方法
- 本发明涉及一种常压化学气相沉积制备二硫化钽的方法，将氟晶云母基底进行清洗，分别称取S粉和TaCl<Sub>5</Sub>粉末；在管式炉外部另设两个加热带，将分别载有前驱体原料的石英舟推入相应的加热带进行气化；将氟晶云母基...
- 刘红军杨天文邱海龙胡章贵
- 一种常压化学气相沉积的亲水涂层及其制备方法
- 本发明涉及薄膜和涂层技术领域，提供了一种常压化学气相沉积的亲水涂层的制备方法。该常压化学气相沉积的亲水涂层的制备方法包括以下步骤：S1：玻璃基材表面基团化处理；S2：用常压化学气相沉积法在表面基团化的所述玻璃基材表面生成...
- 杨帆喻学锋周文华
- 一种常压化学气相沉积法生长多层及单层二碲化钨薄膜的方法
- 本发明为一种常压化学气相沉积法生长多层及单层二碲化钨薄膜的方法。该方法以碲粉、三氧化钨为前驱体，添加溴化钾作为辅助生长剂，三氧化钨在溴化钾的作用下生成挥发性更强的前驱体，解决了三氧化钨所需温度较高的问题；并通过双温区管式...
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- 一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具
- 本实用新型公开了一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，包括持杆，所述持杆的一侧外壁固定连接有固定件，且固定件的一侧外壁开设有活动口，所述固定件的外壁开设有四个限位槽口，且四个限位槽口的内壁滑动连接有固定板，所述固定板的一...
- 奚衍罡
- 一种常压化学气相沉积用治具及其使用方法
- 本发明涉及石英治具技术领域，具体地说，涉及一种常压化学气相沉积用治具及其使用方法；一种常压化学气相沉积用治具，其包括至少一个棱边，设于治具上；治具通过棱边与硅片相接触；一种常压化学气相沉积用治具的使用方法，包括上述的治具...
- 马爱李传玉
- 无氢硅烷常压化学气相沉积SiO_(x)薄膜在晶体硅太阳能电池制造中的应用
- 2023年
- 本研究主要探讨晶体硅太阳能电池制造工业中,对无氢硅烷常压化学气相沉积SiO_(x)薄膜的有效应用。通过三组样品分析了常压化学气相沉淀 SIO_(X)薄膜内存在的结构缺陷与耐久性,室温下,在热板中开展退火实验,对比常压化学气相沉淀 SIO_(X)薄膜在1%HF溶液与1.5%KOH的腐蚀速率和未退火样品,从而明确耐受腐蚀溶液的温度最低值。研究结果显示,化学气相沉淀 SIO_(X)中的PERC细胞正面涂层区并没有寄生镀层出现,且未检测到划痕和镀金痕迹,金字塔更未检测出金属颗粒,因此该技术能够被应用于晶体硅太阳能电池制造中。
- 高艳飞
- 关键词：晶体硅太阳能电池
- 一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具
- 本实用新型提供一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具。所述常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，包括：手持杆；调节电机，所述调节电机安装于所述手持杆上；旋转架，所述旋转架固定安装于所述调节电机的轴端，所述旋转架上开设有缓冲槽；...
- 贺鹏博周明
- 常压化学气相沉积制备二硫化钽的方法
- 本发明涉及一种常压化学气相沉积制备二硫化钽的方法，将氟晶云母基底进行清洗，分别称取S粉和TaCl<Sub>5</Sub>粉末；在管式炉外部另设两个加热带，将分别载有前驱体原料的石英舟推入相应的加热带进行气化；将氟晶云母基...
- 刘红军杨天文邱海龙胡章贵
- 一种常压化学气相沉积制备少层石墨烯膜的方法
- 本发明公开了一种常压化学气相沉积制备少层石墨烯膜的方法，包括：清洗铜箔基底；将铜箔进行第一次退火处理；将第一次退火后的铜箔进行硝酸溶液处理；将上下两层铜箔间隙叠放在石英片上，进行第二次退火处理；退火后的铜箔上进行石墨烯生...
- 赵博琪李秀清张青龙周彤王荣海王闯袁龙
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- 作品数：170被引量：218H指数：9
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- 宋晨路
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