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多晶金刚石束流损失探测器及其制备工艺: 本发明公开了一种多晶金刚石束流损失探测器的制备工艺，包括步骤：选取光学级多晶金刚石薄膜作为晶片，对所述晶片的两面进行抛光处理；对所述晶片的两面进行清洗，以去除其表面有机油脂和石墨层；使用强氧化性酸或者氧等离子刻蚀技术对所...; 马少波章学恒王秀华李荣华李海霞孙志宇

多晶金刚石片的机械磨抛工艺: 2025年; 使用游离磨料进行机械研磨是金刚石平坦化的主流加工手段之一。针对多晶金刚石的材料特性,开展变参数的游离磨料机械研磨实验。通过改变磨料粒度、研磨压力、研磨液浓度,研究其对多晶金刚石片机械研磨的材料去除率和表面粗糙度的影响规律。结果表明:材料去除率随磨料粒度和研磨压力的增大而增大,随研磨液浓度的增大先增大后趋于稳定,其中磨料粒度是对去除率影响最显著的因素;而表面粗糙度随磨料粒度的减小而降低,随研磨压力和研磨液浓度的增大呈现先降低后升高的变化趋势,其中磨料粒度对多晶金刚石加工表面质量的影响最为显著。据此可以确定最适合加工多晶金刚石的工艺参数为研磨压力0.3 MPa、磨粒粒度W10(7.5~10μm)、研磨液浓度4%,此条件下加工的多晶金刚石片表面粗糙度最优,R_(a)约为96 nm,材料去除率为7.097μm/h。; 李蛟张晓秋王紫光张昕张瑜; 关键词：金刚石研磨液机械研磨磨粒

一种异质生长大尺寸多晶金刚石的生长方法: 本发明公开了一种异质生长大尺寸多晶金刚石的生长方法，涉及化学气相沉积技术领域，以钼载盘和不锈钢环组成的可拆卸式衬底组合可以进行拆分，方便清洗，可以将衬底组合进行高效的重复循环利用，不锈钢环的表面能与金刚石沉积材料相差较大...; 刘永宁赵俊芳乔耀明

基片台结构和生长参数对单晶金刚石和多晶金刚石膜质量的影响: 2025年; 调整基片台的结构,在自制的微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备上成功地批量生长了单晶金刚石,并沉积了直径为100 mm的多晶金刚石膜。通过对基片台上方的电场强度分布模拟研究发现,从衬底钼(Mo)或硅(Si)上表面到Mo片上表面之间的距离h对基片台上方的电场强度分布有重要影响,对决定金刚石生长质量的等离子体环境有重要作用;等离子体中甲烷(CH_(4))与氢气(H_(2))的体积比对单晶金刚石和多晶金刚石膜的生长质量有重要影响。研究表明:当h保持在0.8~1.0 mm、CH_(4)与H_(2)体积比为5%时的等离子体环境适合单晶金刚石的大面积生长;而h<0.2 mm、CH_(4)与H_(2)体积比为2%时的等离子体环境沉积的多晶金刚石膜具有较高的均匀性。利用两种不同结构的基片台在不同的CH_(4)与H_(2)体积比条件下成功地获得了数量较多、质量较好的单晶金刚石以及质量和形貌较均匀的大面积金刚石膜。; 刘佳翁俊刘繁陈晓婧汪建华熊礼威; 关键词：单晶金刚石微波等离子体

锰气相催化多晶金刚石表面原位石墨烯构筑研究: 2025年; 金刚石和石墨烯均具有十分优异的物化性质,结合形成的石墨烯-金刚石异质结可充分发挥二者优异性能,引起了广泛的关注。在制备石墨烯-金刚石异质结器件时,传统转移法、金属原位催化法等制备方法都存在步骤复杂、成本较高、石墨烯层覆盖率低且结晶质量较差等缺点,严重妨碍了这种全碳器件的应用。本工作开发了一种金刚石表面原位石墨烯构筑的新方法,采用金属锰气相催化多晶金刚石,实现了金刚石表面原位石墨烯生长。研究结果表明:金属锰气相状态对多晶金刚石具有较强的催化效果,生成的石墨烯层覆盖率高、表面均匀。这种新型的金属锰气相催化法步骤简单,成本较低,可一步完成。本文的研究为在金刚石表面原位生长高质量石墨烯提供了新的技术路线,为制备高性能石墨烯-金刚石异质结全碳器件提供了新思路。; 吴国栋张文伏鑫刘辉强汪建王兵熊鹰; 关键词：原位生长

一种规模化制造超平多晶金刚石膜的方法: 本发明提供一种规模化制造超平多晶金刚石膜的方法，包括：(1)采用化学气相沉积法在表面具有金刚石晶种的生长衬底上生长一层多晶金刚石膜；(2)将生长后的衬底裁剪下至少一部分，形成多晶金刚石膜与生长衬底接合的分界线；(3)粘贴...; 褚智勤景纪祥林原王琦王忠强李携曦

多晶金刚石向心轴承: 本发明提供一种向心轴承组件。向心轴承组件包括多晶金刚石元件，其分别具有与相对接合表面滑动接合的接合表面。相对接合表面包括金刚石反应性材料。向心轴承组件可以被部署于各种组件和应用中，包括于转子和定子组件中。还提供向心轴承组...; D·P·梅西G·普利弗斯特M·V·威廉姆斯E·C·斯帕茨M·R·利斯W·W·金

多晶金刚石向心轴承: 本发明提供一种向心轴承组件。向心轴承组件包括多晶金刚石元件，其分别具有与相对接合表面滑动接合的接合表面。相对接合表面包括金刚石反应性材料。向心轴承组件可以被部署于各种组件和应用中，包括于转子和定子组件中。还提供向心轴承组...; D·P·梅西G·普利弗斯特M·V·威廉姆斯E·C·斯帕茨M·R·利斯W·W·金

一种多晶金刚石抛光设备: 本发明提供一种多晶金刚石抛光设备，涉及金刚石晶体表面抛光技术领域，包括：台柱、底台、底柱、控制台、稳步条和抛光盘，底台外表面的顶部固定安装有电机，电机的输出轴固定连接有托台，托台的外表面固定套设有齿圈。本发明，转动的抽风...; 梁奇汤磊陈波

一种多晶金刚石抛光设备: 本发明提供一种多晶金刚石抛光设备，涉及金刚石晶体表面抛光技术领域，包括：台柱、底台、底柱、控制台、稳步条和抛光盘，底台外表面的顶部固定安装有电机，电机的输出轴固定连接有托台，托台的外表面固定套设有齿圈。本发明，转动的抽风...; 梁奇汤磊陈波

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