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- 陈明等著
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- 声表面波传感器
- 1992年
- 武以立
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- 针对密闭空间内部状态参数的长期监测,设计了一种基于声表面波(SAW)原理的无源无线应变传感器。为解决应变测量中温度干扰的问题,提出了一种基于最小二乘法的温度补偿方法。通过微扰理论和有限元分析,对传感器的应变系数和温频系数进行了仿真计算,并对应变系数与温度的关系进行了多项式拟合,建立了应变系数对温度的补偿公式。构建了SAW应变传感器测试系统,在30,36,50和60℃条件下,测得了0~1000με范围内的频率响应。基于实验数据,确定了温度对应变系数的影响系数。将实验得到的谐振器频率代入补偿模型计算得到应变值,在30~60℃范围内实现了应变测量误差从31.2%降低至3.9%。
- 徐静宁蔡飞达张勇斌卢铭瑞王晗
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- 蒋华吴家伟施裕杨永杰
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- 本发明公开了一种用于硫化氢检测的pn结薄膜基声表面波传感器的制备方法。其制备流程如下:1.以含铜的化合物和含钛的化合物为前驱体分别制备CuO溶胶和T iO<Sub>2</Sub>溶胶,两者进行复合,得到CuO‑T iO<...
- 吴为向霞邓洪祥祖小涛
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- 欧欣孙米静张师斌郑鹏程何炬星
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- 一种声表面波传感器芯片,包括:压电基片,所述压电基片上设置有换能器,所述压电基片的表面具有两组凹槽,所述凹槽用于对声波做反射,以将所述声波的能量聚集到所述换能器。在该声表面波传感器中通过在压电基片上设置具有大反射率的凹槽...
- 陈梁远周柯田亚会金庆忍黎大健苏毅张玉波张炜王晓明罗宗昌马源张磊
- 一种声表面波传感器和温度感测系统
- 本发明提供一种声表面波传感器和温度感测系统,该声表面波传感器包括:石英基底;叉指换能器,位于所述石英基底上;第一反射栅和第二反射栅,位于所述石英基底上;所述第一反射栅和第二反射栅在所述叉指换能器的两侧对称分布;所述第一反...
- 金江善丁景曾庆顺张洪姚汉奇
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