搜索到 篇“ 各向异性腐蚀 “的相关文章

相关作者

王跃林
作品数：721被引量：796H指数：14
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
李昕欣
作品数：541被引量：380H指数：10
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
李铁
作品数：357被引量：139H指数：6
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
黄庆安
作品数：922被引量：857H指数：13
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
杨恒
作品数：149被引量：138H指数：6
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻