搜索到320篇“ 双层辉光离子渗金属“的相关文章
- 基于双层辉光离子渗金属的离子轰击金属靶材的计算机模拟被引量:1
- 2023年
- 轰击离子的产生、输运以及离子对靶材的溅射过程是实现双层辉光等离子渗金属的重要一环。基于辉光放电的理论以及COMSOL Multiphysics软件对典型的双层辉光等离子渗金属装置进行了建模,分析了轰击离子的能量范围,结合经典散射理论和蒙特卡罗方法,使用SRIM软件详细地模拟了Ar+对金属靶材的溅射过程。结果表明:溅射原子的位置集中在金属靶材入射位置的附近,形成环状的溅射坑。溅射原子的能量集中在20 eV内,随着入射离子能量的增加,会出现一些高能量、大角度的溅射原子。溅射产额随着靶材原子d壳层电子填满程度的增加而增大,溅射产额主要来自低能反冲原子。溅射产额越大意味着低能反冲原子越多,能量传递越分散,溅射原子能量越低。
- 李祥田林海姚晓红姚晓红林乃明王振霞秦林
- 关键词:双层辉光离子渗金属等离子体溅射蒙特卡罗计算机模拟
- 双层辉光离子渗金属技术制备Al-Y-Si氧化物涂层被引量:2
- 2015年
- 本文采用双层辉光离子渗金属技术,在316L不锈钢表面进行Al-Y-Si共渗后氧化处理,制备致密的氧化物阻氚渗透涂层。通过XRD、SEM和EDS分析制备涂层的组织和结构,通过划痕试验、电化学测试和抗热震实验对其进行性能测试。结果表明,Y、Si元素的掺入能够生成连续致密的Al2O3涂层。用Y含量为10%的靶材制备的氧化涂层的组织和性能最佳,结合力为70.5N,涂层有很强的耐腐蚀性能,热震实验后表面无裂纹出现。
- 陈腾飞林岳宾沈一州陶杰
- 关键词:双层辉光离子渗金属技术
- 双层辉光离子渗金属技术沉积氮化钛薄膜的微观结构研究被引量:2
- 2012年
- 采用双层辉光离子渗金属技术,在硬质合金基体表面上制备了氮化钛(TiN)薄膜,通过微观结构和显微硬度分析,研究了基体温度对TiN薄膜性能的影响.实验结果表明:所有TiN样品均具有面心立方结构,并且薄膜生长的择优取向、晶粒尺寸、晶面间距、晶格常数和微观硬度等都与基体温度密切相关.当基体温度为650~780℃时,TiN薄膜具有最小的晶粒尺寸(26.9 nm)和最大的显微硬度(2204 HV).
- 陈首部韦世良何翔孙奉娄
- 关键词:双层辉光离子渗金属技术氮化钛薄膜微观结构
- 双层辉光离子渗金属技术制备Al-Cr-Si氧化物阻氚涂层被引量:1
- 2010年
- 本文采用双层辉光离子渗金属技术在316L不锈钢表面进行Al-Cr-Si共渗后氧化处理,制备致密的氧化物阻氚渗透涂层。用SEM、TEM和XRD分析制备涂层的组织结构,用划痕法和抗热震实验对其进行性能测试。结果表明,Cr、Si元素的掺入使涂层生成连续致密的Al2O3氧化膜;在外层富铝区,Al2O3和少量Fe、Cr的氧化物反应生成了尖晶石型复合氧化物Fe(AlCr)2O4。氧流量为0.01L/min时制得的氧化涂层的组织和性能最佳,其结合力达68N,热震实验后表面无裂纹出现。
- 尹磊陶杰苏新清刘红兵徐江
- 关键词:双层辉光离子渗金属技术
- 双层辉光离子渗金属技术特点被引量:47
- 2008年
- 分析了双层辉光技术的特点,指出该技术在材料表面合金化方面,是一项适合于高熔点金属表面合金化和采用高熔点金属对铁基或某些熔点较高的有色金属材料进行表面合金化的工艺技术。
- 高原徐晋勇高清安晋平徐重
- 关键词:双层辉光离子渗金属技术高熔点金属空心阴极效应阴极溅射扩散
- 316L不锈钢表面双层辉光离子渗金属技术制备Al2O3涂层
- Al2O3涂层由于具有较好的阻氚渗透效果可用作聚变堆第1壁涂层。利用双层辉光离子渗金属技术在316L不锈钢表面进行渗Al后热氧化处理,得到了致密的Al2O3涂层。对渗Al层的成分和形貌分别利用X射线衍射分析仪和扫描电子显...
- 李转利陶杰刘红兵高强徐江骆心怡
- 关键词:不锈钢氧化铝涂层双层辉光离子渗金属X射线衍射
- 文献传递
- 316L不锈钢表面双层辉光离子渗金属技术制备Cr2O3涂层
- 为改善不锈钢的阻氚渗透性能,采用双层辉光离子渗金属技术在316L不锈钢表面渗铬渗氧制备出了氧化铬涂层,对涂层的组织特征、相组成和合金元素成分分布及渗入机理进行了分析。结果表明,渗铬后表面主要形成Cr的沉积层和Cr在α-F...
- 高强陶杰骆心怡刘红兵李转利徐江
- 关键词:双层辉光离子渗金属不锈钢
- 文献传递
- 316L不锈钢表面双层辉光离子渗金属技术制备Cr_2O_3涂层
- 为改善不锈钢的阻氚渗透性能,采用双层辉光离子渗金属技术在316L不锈钢表面渗铬渗氧制备出了氧化铬涂层,对涂层的组织特征、相组成和合金元素成分分布及渗入机理进行了分析。结果表明,渗铬后表面主要形成Cr的沉积层和Cr在-αF...
- 高强陶杰骆心怡刘红兵李转利徐江
- 关键词:双层辉光离子渗金属技术
- 文献传递
- 316L不锈钢表面双层辉光离子渗金属技术制备Al_2O_3涂层
- Al2O3涂层由于具有较好的阻氚渗透效果可用作聚变堆第1壁涂层。利用双层辉光离子渗金属技术在316L不锈钢表面进行渗Al后热氧化处理,得到了致密的Al2O3涂层。对渗Al层的成分和形貌分别利用X射线衍射分析仪和扫描电子显...
- 李转利陶杰刘红兵高强徐江骆心怡
- 关键词:渗铝氧化铝涂层
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- 316L不锈钢表面双层辉光离子渗金属技术制备Cr_2O_3涂层被引量:4
- 2008年
- 为改善不锈钢的阻氚渗透性能,采用双层辉光离子渗金属技术在316L不锈钢表面渗铬渗氧制备出了氧化铬涂层,对涂层的组织特征、相组成和合金元素成分分布及渗入机理进行了分析。结果表明,渗铬后表面主要形成Cr的沉积层和Cr在-αFe中的固溶体相,渗层厚度可达21μm,铬含量最高可达92%,且由表及里呈梯度分布;随后对渗铬层进行渗氧处理,表面形成以Cr2O3为主的陶瓷层,其有效厚度约为45μm,渗层与基体结合牢固。
- 高强陶杰骆心怡刘红兵李转利徐江
- 关键词:双层辉光离子渗金属技术
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- 徐重

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- 刘红兵

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