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- 一种单晶硅片分片装置
- 本发明公开了一种单晶硅片分片装置,涉及半导体材料加工技术领域,包括:两个呈对称设置的辊体,所述辊体的两端均设置有辊座,以便所述辊体转动设置于所述辊座上;传动套设于两个所述辊体之间的多根分片丝,所述分片丝用于分切单晶硅棒;...
- 荀耀姚伟忠
- 一种单晶硅片表面缺陷检测装置
- 本发明公开了一种单晶硅片表面缺陷检测装置,本发明中:检测台位于上料机构的尾部;底板的一侧安装有第一无杆气缸,第一无杆气缸的第一滑块上表面设有支撑杆;支撑杆的上表面横向安装有第二无杆气缸;第二无杆气缸的第二滑块的下表面安装...
- 乔硕石峰彭星田野翟德德刘峻屹
- 一种单晶硅片清洗设备以及方法
- 本发明涉及一种单晶硅片清洗设备以及方法,包括承载托一、操控托二、操控托一和承载托二;所述承载托二铰接于承载托一的正上方位置,所述操控托一与操控托二分别位处承载托一的周边的两个端点,所述承载托一背部焊接有承载柱,所述操控托...
- 王艺澄王军磊程正景杨杰许晖
- 细线化的单晶硅片切割方法及装置
- 本发明属于硅片加工技术领域,尤其涉及一种细线化的单晶硅片切割方法及装置,包括以下步骤:S1.将单晶硅两端固定在工作台上,单晶硅位于五组切割线下方,通过电机一和转轴一控制五组切割线转动;S2.通过上升工作台将单晶硅缓慢上移...
- 李鸿邦赵亮姜君周孝鹏
- 光伏单晶硅片冲洗过程中应力分布的研究
- 2025年
- 在光伏单晶硅片冲洗过程中,产生的最大应力可能导致硅片损伤,硅片上应力的分布及硅片上最大应力位置的确定对于降低硅片的损伤程度有重要意义。首先基于矩形板的Levy解模型,计算冲洗过程中不同尺寸硅片上的挠度和应力值;然后,运用ABAQUS有限元软件对硅片冲洗过程中产生的应力进行仿真。结果表明,运用矩形板Levy解模型计算时,特定比值下,当硅片的长宽比b/a=2、1、0.5时,最大应力值出现在自由边上(y=b)或固支边上(y=0)。当硅片宽度a固定、长度b逐渐增加时,在固支边上长宽比b/a=0.5时应力值最大,在自由边上长宽比b/a=0.9时应力值最大;当硅片的长宽比b/a=0.1~1.5时,硅片的最大应力分布在固支边上;当硅片的长宽比b/a=1.5~2时,硅片的最大应力分布在自由边上。通过最大挠度确定最大应力位置,虽然能减少大量计算,但是不够全面和准确。运用ABAQUS有限元分析得出的结果与矩形板Levy解模型计算得出的应力分布规律一致,但是应力值存在一定的误差。将矩形板Levy解模型得出的结果与莫尔理论结合,推导出硅片上冲洗压力与硅片厚度的关系公式。利用该公式,当硅片厚度确定时,能计算出硅片上承受的最大冲洗压力;当冲洗压力确定时,能得出硅片冲洗时不被破坏的最小厚度。
- 李涛吕国强李遇贤钱益超张杰
- 关键词:应力
- 基于辐照性质调控单晶硅片电容灵敏度的方法及系统
- 本发明涉及基于辐照性质调控单晶硅片电容灵敏度的方法及系统。本发明包括建立单晶硅模型;进行辐照处理,获取缺陷数目与辐照剂量的关系曲线;对辐照后的单晶硅模型进行拉伸处理后,获取应力应变曲线;对应力应变曲线进行线性拟合,得到单...
- 郭贤杨德寿乔继彪魏宁
- 提拉单晶硅方法、单晶硅棒、单晶硅片和太阳能电池
- 本申请涉及一种提拉单晶硅方法、单晶硅棒、单晶硅片和太阳能电池,上述方法包括建立表征同炉单晶硅棒样品的头部电阻率、尾部电阻率、头部少子寿命、尾部少子寿命、等径长度、留埚率之间的对应关系的第一模型;建立表征单晶硅片的平均电阻...
- 马广马玉花武晓峰
- 一种单晶硅片抛光装置
- 本实用新型公开了一种单晶硅片抛光装置,包括装置本体,装置本体包括安装箱、固定平台、打磨装置和调节装置,固定平台安装在安装箱顶部,打磨装置安装在固定平台顶部,调节装置安装在安装箱内;固定平台包括底板、侧限位板和挡板,侧限位...
- 邹彩凤
- 一种单晶硅片移转支架
- 本实用新型公开了一种单晶硅片移转支架,涉及单晶硅片技术领域;而本实用新型包括底板,所述底板的上表面固定设有安装框,所述安装框的上下均贯穿设置,所述安装框内固定设有多个等间距分布的隔板,所述隔板呈竖直设置,所述隔板其中一侧...
- 黄金强张力峰刘慧
- 一种单晶硅片检测装置
- 本发明属于单晶硅片检测技术领域,涉及一种单晶硅片检测装置。本发明包括工作台、检测单元和搬运单元;所述工作台上开设有闭合的第一滑槽,第一滑槽限位滑动连接有第一吸附组件,第一吸附组件用于固定硅片,所述检测单元包括摄像头和背光...
- 唐朝辉蒋继林肖兰星
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- 施芹

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- 供职机构:南京理工大学
- 研究主题:单晶硅片 硅微陀螺仪 硅 玻璃衬底 谐振式加速度计
- 苏岩

- 作品数:299被引量:268H指数:9
- 供职机构:南京理工大学
- 研究主题:陀螺 单晶硅片 加速度计 硅 玻璃衬底
- 程先华

- 作品数:292被引量:618H指数:13
- 供职机构:上海交通大学机械与动力工程学院
- 研究主题:稀土改性 稀土化合物 摩擦学性能 稀土 乙二胺四乙酸
- 夏国明

- 作品数:90被引量:72H指数:6
- 供职机构:南京理工大学
- 研究主题:单晶硅片 硅微陀螺仪 硅微机械 封装结构 硅微机械陀螺