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一种单晶硅基片夹具
本实用新型涉及单晶硅技术领域,且公开了一种单晶硅基片夹具,包括:底板,还包括:底板的表面等距设置有多组夹座,且底板的两侧固定连接有立板,立板的两侧通过齿杆伸缩设置有侧板;立板的内部通过操作杆转动连接有齿轮盘,且齿轮盘的外...
崔彦波赵文娜尚彩霞
一种单晶硅片切片设备
本发明属于半导体技术领域,具体的说是一种单晶硅片切片设备,包括底座框架,底座框架的上端设有辅助结构,底座框架上端靠近辅助结构的一端设有切片结构,且切片结构用于对棒进行切割;切片结构包括:切片框架,切片框架设在底座框架的...
曹玉宝高树良刘陈亚
一种单晶硅片脱胶设备
本发明属于单晶硅片脱胶技术领域,具体的说是一种单晶硅片脱胶设备,包括用于盛装脱胶液的机体和若干用于支撑单晶硅片的承接组件,还包括:滑动安装在机体内的支架,支架用于放置晶托;两个对称安装在机体内的伸缩杆,承接组件安装在伸缩...
高树良李小锋张怿
一种单晶硅片分片装置
本发明公开了一种单晶硅片分片装置,涉及半导体材料加工技术领域,包括:两个呈对称设置的辊体,所述辊体的两端均设置有辊座,以便所述辊体转动设置于所述辊座上;传动套设于两个所述辊体之间的多根分片丝,所述分片丝用于分切单晶硅棒;...
荀耀姚伟忠
一种单晶硅掺杂装置
本实用新型涉及单晶炉技术领域,具体涉及一种单晶硅掺杂装置,包括腔体,且腔体的开口端固定连接有法兰盘,所述腔体内设置有移动柱,所述移动柱的端部可拆卸安装有掺料斗,所述移动柱远离掺料斗一端的表面固定套设有内磁套,所述腔体的表...
王燕飞王亚普王艺澄文勇郭光华王军磊
单晶硅的制备方法
本申请涉及单晶硅加工技术领域,具体提供一种单晶硅的制备方法,旨在解决现有单晶硅制备过程中因晶体扭曲而影响晶体质量的问题。为此目的,本申请的单晶硅的制备方法包括:在单晶硅等径生长的第一阶段,控制晶体拉速逐渐上升至预设拉速,...
周文辉武晓峰
一种单晶硅切片系统
本申请公开了一种单晶硅切片系统,涉及太阳能光伏制造技术领域。单晶硅切片系统包括切片单元、第一检测单元、第一清洗单元、第二清洗单元和第二检测单元,切片单元包括切割线,切割线用于将单晶硅棒切片;第一检测单元设置在切片单元的一...
邹凯莫磊张国宏张德林周文东杜明田栋东李长营
单晶硅的生长设备
本发明提供了一种单晶硅的生长设备,其包括:坩埚组件,其用以容纳料;加热组件,设置在坩埚组件的外侧以对容纳在坩埚组件内的料进行加热,包括位于所述坩埚组件外围的第一加热器;隔热组件,其呈环状设置于坩埚组件的外侧且在高度方...
武鹏贾晨晨何金凯王成龙刘磊
单晶硅的制造方法
本发明是一种单晶硅的制造方法,其基于使用了会切磁场的CZ法,所述会切磁场由提拉炉所具备的上侧线圈及下侧线圈形成,该单晶硅的制造方法的特征在于,在直体工序中,将单晶硅的转速设为7rpm以上12rpm以下,将石英坩埚的转速设...
三原佳祐
一种单晶硅棒外圆加工设备
本发明公开了一种单晶硅棒外圆加工设备,涉及棒加工技术领域;而本发明包括距离调节机构,距离调节机构的两个移动端均固定安装有第一调节机构,第一调节机构内部设有对棒进行夹持的棒夹持机构,距离调节机构上安装有呈环形分布的四...
刘进白青松

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杨德仁
作品数:983被引量:901H指数:15
供职机构:浙江大学
研究主题:太阳电池 硅 直拉硅单晶 欧姆接触电极 硅片
裘安萍
作品数:177被引量:272H指数:11
供职机构:南京理工大学
研究主题:单晶硅片 硅 玻璃衬底 硅微陀螺仪 谐振式加速度计
余学功
作品数:201被引量:72H指数:6
供职机构:浙江大学
研究主题:太阳电池 硅 单晶硅 硅片 太阳能电池
施芹
作品数:146被引量:163H指数:9
供职机构:南京理工大学
研究主题:单晶硅片 硅微陀螺仪 硅 玻璃衬底 谐振式加速度计
苏岩
作品数:297被引量:266H指数:9
供职机构:南京理工大学机械工程学院
研究主题:陀螺 单晶硅片 硅 加速度计 玻璃衬底