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搜索到28816篇“ 半导体设备“的相关文章

半导体设备与成像设备: 提供一种适合于高度集成的结构的半导体设备。该半导体设备具有：晶体管，具有栅极部、第一扩散层、以及第二扩散层；第一导电部；第二导电部，与第一导电部电绝缘；第一存储器元件，位于第一扩散层与第一导电部之间并且电连接至第一扩散层...; 横山孝司冈干生神田泰夫

半导体元件和半导体设备: MOS电容器的电容量增加。半导体元件包括第一半导体区域、绝缘膜、栅电极和第二半导体区域。第一半导体区域布置在半导体基板上，并且在表面上具有凹部。绝缘膜布置成与第一半导体区域的表面相邻。栅电极布置成与绝缘膜相邻，并且与第一...; 冨田知大平井友洋冈本晋太郎江田健太郎渡辺敬山口一树笠原则一铃木康平

光栅测温装置、半导体设备及其测温方法: 一种光栅测温装置、半导体设备及其测温方法，光栅测温装置中的光纤提供的发射光能够传输至布拉格光栅，并经布拉格光栅反射所述发射光，产生反射光。因为布拉格光栅直接在测温点处形成，从而布拉格光栅与测温晶圆之间无任何媒介，布拉格光...; 洪俊华

半导体设备对接方法及系统、控制模块: 本申请提供了半导体设备对接方法及系统、控制模块，该方法应用于控制模块，该方法包括：接收来自EAP设备自动化模块的第一半导体设备的设备状态信息，以及，接收来自所述第一半导体设备的传感器信号；根据所述设备状态信息和所述传感器...; 魏洋刘洋

半导体设备和半导体器件的制造方法: 本申请实施例提供了一种半导体设备和半导体器件的制造方法。该半导体设备包括至少一个真空处理腔室和至少一个真空传输腔室，各真空处理腔室均与真空传输腔室连接；真空传输腔室用于传送晶圆。至少一个真空处理腔室包括第一真空处理腔室，...; 王桂磊马雪丽项金娟赵超

半导体设备: 本实用新型涉及一种半导体设备。所述半导体设备包括主机台和门板，所述主机台的腔室开口处设置有插销传感器和磁力装置，所述门板的一端与主机台转动连接，另一端边缘设置有磁吸插销，在门板的所述另一端靠近所述主机台即进行关门动作以密...; 樊梦柯阚保国徐康陈伏宏

半导体设备保养周期预测方法、设备、介质及产品: 本申请实施例涉及设备维护领域，公开了一种半导体设备保养周期预测方法、设备、介质及产品。方法包括采集半导体设备触发保养条件时，设备运行参数的样本；所述样本包括采集时间和触发值；计算每个所述样本的触发速率，所述触发速率为所述...; 邓团圆肖武闯高建涛

半导体设备的状态的多传感器确定: 提供用于半导体设备的状态的多传感器确定的方法和装置。在本文公开的一些实施方案中，半导体制造设备可以包括：多个传感器，其包括设置于该半导体制造周围的一个或更多个空间传感器、一个或更多个光谱传感器、以及一个或更多个时间传感器...; 卡皮尔·索拉尼保罗·弗兰岑米格尔·本杰明·瓦斯克斯本杰明·童·叶保罗·康科拉约翰·瓦利

位置检测装置、半导体设备及检测基板偏移量的方法: 本发明公开了一种位置检测装置、半导体设备及检测基板偏移量的方法，位置检测装置包括检测区域、多个检测器和控制器，多个检测器配置在检测区域，当机械手和基板置于检测区域时，多个检测器被配置为：分别向基板表面发射一具有一宽度的检...; 徐飞袁凯杰吴均王晖李康植

半导体设备、用于控制半导体设备的方法和控制程序: 本公开涉及半导体设备、用于控制半导体设备的方法和控制程序。根据本公开的半导体设备包括：比较器电路；计数器电路；以及锁存电路，该锁存电路在比较器电路的输出信号改变的时刻存储计数器电路的计数值，计数器电路包括：多相信号发生器...; 森下玄

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王绍勇: 作品数：25被引量：2H指数：1; 供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司; 研究主题：半导体设备晶圆变型半导体安全传送

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