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- 半导体行业超纯水处理系统的调试与分析
- 2025年
- 本文详细分析了某公司超纯水处理系统的试运行过程,重点讨论了调试过程中遇到的技术难点及其解决方案。该系统采用两级抛光、两级超滤等处理工艺,可有效去除水中大分子有机物及金属离子等杂质,达到超纯水中金属离子浓度<0.1 ppt的严苛要求。本文通过对系统调试和性能评估的深入探讨,总结了确保半导体硅片制造用水高质量的重要技术方法,为半导体行业的水处理技术提供了参考。
- 张勇
- 关键词：半导体硅片系统调试
- 一种半导体行业用定位传动带
- 本实用新型涉及电子元件生产技术领域，特别涉及一种半导体行业用定位传动带，包括由机架、驱动装置、传送带和定位装置组成的传动带，所述定位装置包括转轴、传动组件和启停模块，所述转轴的两端均通过轴承座设置在机架上，所述传动组件的...
- 叶书生
- 半导体行业靶材专用悬挂运送装置
- 本实用新型公开了半导体行业靶材专用悬挂运送装置，具体涉及靶材悬挂运送技术领域，包括加强支撑杆，所述加强支撑杆的两端均设置有吊装铸组件，所述吊装铸组件包括设置在加强支撑杆一端的限位筒，所述限位筒的内腔底部设置有导向柱，所述...
- 房振阳凌飞王健
- 一种半导体行业石墨圆盘的清扫装置
- 本发明公开了一种半导体行业石墨圆盘的清扫装置，包括上基板和石墨圆盘，所述石墨圆盘设置在上基板的一侧，涉及半导体外延技术领域。本发明能够在石墨圆盘工艺生产完成后对石墨圆盘上的沉积颗粒及时进行清扫，从而提升了石墨圆盘的使用频...
- 石晶铎刘冬梅王勇王强
- 一种半导体行业污染物微粒检测计数器
- 本实用新型提供一种半导体行业污染物微粒检测计数器，应用于污染物排放的废液管道和废气管道，污染物微粒检测计数器包括第一监测支管和第二监测支管，第一监测支管的两端均与废液管道连通，第一监测支管设置的检测单元用于对液体流体进行...
- 李立志
- 一种半导体行业混合物料流体管道系统
- 本实用新型公开了一种半导体行业混合物料流体管道系统，所述管道系统包括搅拌混合系统、主线循环系统、副线循环系统、第一缓存出料系统和第二缓存出料系统。本实用新型选用螺杆泵，螺杆泵可以输送高黏度、高含固量，对介质的适应性较强；...
- 聂磊森唐良平
- 一种半导体行业抓取石墨盘的铝合金手指
- 本实用新型公开了一种半导体行业抓取石墨盘的铝合金手指，包括石墨盘抓取模块，所述石墨盘抓取模块包括支撑板以及支撑板一端伸出的两组手指，一组所述手指的内部开设有激光器孔且激光器孔的内部容置有激光器，另一组所述手指的内部开设有...
- 李彤刘冬梅王强王勇
- 半导体行业湿电子化学品高效纯化工艺设计
- 2025年
- 研究目的是探索半导体行业湿电子化学品高效纯化工艺设计方法,促进产品质量的提高和适应产业发展的需要。在分析半导体行业湿电子化学品发展现状和存在问题的基础上,对膜分离技术、电渗析技术和组合工艺优化设计进行了研究。研究表明,与传统的纯化工艺相比,膜分离技术可以提高纯化效率20%,而电渗析技术则可以将产品的纯度提高到99.999%或更高,该组合工艺在确保高纯度的前提下,进一步提升纯化效率,降低成本。该研究也为促进纯化效率、降低成本和能耗以及环保和可持续发展等方面提供了一些建议。
- 杨亚川
- 关键词：半导体行业膜分离技术电渗析技术
- 一种半导体行业承载多层石墨盘的料盒
- 本实用新型公开了一种半导体行业承载多层石墨盘的料盒，包括料盒，所述料盒的内部固定连接有供石墨盘承载的搭盘，所述搭盘与石墨盘底面接触的位置开设有感应口，所述搭盘与石墨盘顶面接触的位置开设有稳定口，所述感应口的内部设置有感应...
- 刘相营刘冬梅王勇王强
- 一种用于半导体行业的芯片精密压接液压系统
- 本申请涉及精密液压系统技术领域，具体公开了一种用于半导体行业的芯片精密压接液压系统，其包括：油箱、第一泵体、伺服电机、第一压力传感器、油路块、伺服比例阀、电磁换向阀、液压缸和第二压力传感器，所述第一泵体的进油口与油箱连接...
- 陆运康吴岐山孙正超
相关作者
- 谷德君
- 作品数：52被引量：12H指数：2
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- 研究主题：半导体行业 湿法处理 晶片 晶圆 承片台
- 卢继奎
- 作品数：32被引量：0H指数：0
- 供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
- 研究主题：晶片 半导体行业 湿法处理 承片台 供液
- 王一
- 作品数：15被引量：0H指数：0
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- 研究主题：湿法处理 半导体行业 晶圆 晶片 承片台
- 赵明华
- 作品数：78被引量：6H指数：1
- 供职机构：
- 研究主题：IC 半导体产业 行业协会 IC产业 半导体行业
- 张爽
- 作品数：16被引量：0H指数：0
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