搜索到62029篇“ 半导体制造“的相关文章
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一种半导体制造设备
本实用新型公开了一种半导体制造设备，包括水平放置的支撑底座，所述支撑底座上表面四角位置固定安装有支撑杆，且所述支撑杆顶端固定安装有固定顶板；承载平台，水平横向设置在所述支撑底座上方；活动板，横向设置在所述固定顶板下方；吸...
余建波鲁浪
一种半导体制造装置
本发明提供了一种半导体制造装置，涉及半导体制造技术领域，包括底座、放置部、推送部、驱动部、检测部、干燥部和辅助部；所述底座固定在工作台上；所述放置部由放置筒、安装座和清洁块组成，且放置筒通过支座固定连接在底座顶端面；所述...
孙海涵
一种半导体制造气动模组
本实用新型公开了一种半导体制造气动模组，包括模组框，所述模组框的一侧通过开设开口固定连接有第一气缸，所述第一气缸的伸缩端固定连接有滑台，所述模组框内腔两侧之间的前部与后部均固定连接有限位杆，所述滑台一侧的前部与后部均开设...
牟珍蓉徐福成
一种半导体制造用定位夹具
本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种半导体制造用定位夹具，包括：载物盘、与载物盘一体连接的安装盘、夹紧半导体原件的夹紧组件、以及，带动载物盘转动的电机；安装盘上设有立柱；夹紧组件由一端插接在载物盘上的夹持件、固定...
胡晓刚
半导体制造方法以及制造系统
本发明实施例他提供的一种半导体制造方法以及制造系统，用于执行刻蚀工艺，未刻蚀的晶圆为来料晶圆，已完成刻蚀的晶圆为输出晶圆，所述方法包括：采集所述来料晶圆上多个位置点的第一工艺数据；基于所述第一工艺数据调整多个位置点对应的...
陈建涂武涛张海洋
线缆台及半导体制造设备
本发明提供一种线缆台及半导体制造设备，涉及半导体制造技术领域。该线缆台包括沿Z向依次排布的基座、磁钢定子、线圈动子和载座，磁钢定子连接于基座，线圈动子连接于载座，基座和载座两者中，其中一者设有限位槽，限位槽的长度方向与Y...
郭少龙王利臣张志刚
半导体制造方法及半导体结构
本申请属于半导体制造技术领域，尤其涉及一种半导体制造方法及半导体结构，其中，半导体制造方法至少包括以下步骤：提供一半导体衬底；向半导体衬底执行离子注入工艺，且不同深度处注入的离子的剂量不同，形成由半导体衬底的表面向内部的...
董春燕曹学文李亨颜天才杨列勇
半导体制造方法及半导体结构
本发明涉及一种半导体制造方法及半导体结构，该半导体制造方法至少包括以下步骤：提供一半导体衬底；在半导体衬底中形成由半导体衬底的表面打开至内部的沟槽；向形成有沟槽的半导体衬底的表面沉积形成衬里层，衬里层覆盖沟槽的内表面，衬...
刘文俊
一种半导体制造装备的清洁设备
本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，公开了一种半导体制造装备的清洁设备，包括机体，所述机体的上表面一侧设置有水泵，所述水泵的输入端固定连接有进水管，所述进水管的一端设置有清洁水箱，所述水泵的输出端固定连接有出水管。本实...
王科峰朱谨超钟厅
一种用于半导体制造的辅助工装
实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种用于半导体制造的辅助工装，包括工作台，所述工作台的顶部中侧固定连接有定位座，所述定位座的顶端两侧设置有两个契合槽，所述契合槽的内部设置有契合柱，所述契合柱的顶端固定连接有放置体，...
王科峰朱谨超钟厅
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严利人
作品数：131被引量：56H指数：4
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆片 半导体制造设备 激光 激光退火 半导体制造技术
周卫
作品数：87被引量：41H指数：4
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆片 半导体制造设备 激光 半导体制造技术 激光加工
刘朋
作品数：57被引量：5H指数：1
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆片 半导体制造设备 激光 半导体制造技术 激光加工
窦维治
作品数：59被引量：2H指数：1
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：晶圆片 半导体制造设备 激光 激光加工 半导体制造技术
夏洋
作品数：501被引量：61H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺