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加速度传感器
本发明涉及一种加速度传感器(1)，具有：基体(12)，基体具有切向侧面(12.1，12.2，12.3，12.4)和法向侧面(12.6，12.7)，切向侧面相对于竖轴(z)切向地布置，法向侧面相对于竖轴法向地布置；至少一个...
M·拉夫兰奇T·弗罗门威勒D·韦伯
一种加速度传感器校准装置
本实用新型涉及校准装置技术领域，且公开了一种加速度传感器校准装置，包括支撑板、标准力传感器、两个液压缸、落锤、四个导向柱和待校准传感器，落锤远离标准力传感器的一侧固定连接有若干支撑杆，若干支撑杆的另一端同时固定连接有磁架...
曾倩怡
MEMS三轴加速度传感器
一种MEMS三轴加速度传感器，涉及传感器技术领域，其能够有效降低横向交叉干扰，并提高灵敏度和测量精度。所述MEMS三轴加速度传感器，包括：分别设置于三维坐标系的三个方向的硅MEMS加速度传感器，且X、Y、Z三个坐标相互正...
崔靖昀高伟苏宇航杨宁祥陈建勋
多维加速度传感器
一种多维加速度传感器，包括：壳体，限定有容纳腔，所述壳体与一待测物体相连接并与所述待测物体同步运动；支撑部，容置于所述容纳腔，所述支撑部至少具有相垂直的第一面和第二面；感知部群，包括贴附于所述第一面的第一感知部和贴附于所...
吴迅奇翁其勇
一种高灵敏度压电加速度传感器
本实用新型涉及压电加速度传感器技术领域，公开了一种高灵敏度压电加速度传感器，包括底座，所述底座的顶部安装有外壳，所述外壳的内部设置有芯体保护壳，所述芯体保护壳的内部设置有传感芯体，所述芯体保护壳的顶部安装有隔离压块，所述...
袁炜华侯万民潘蕾宇滕春雨
电容式加速度传感器及其制备方法
本发明提供了一种电容式加速度传感器及其制备方法，该方法通过在第一衬底的表面依次形成第一金属层、第一介质层、牺牲层以及结构层，将第二衬底与第一衬底的结构层表面键合，在第二衬底表面形成贯穿第二衬底直至第一介质层的第一支撑孔柱...
陈勇彬张茜
一种MEMS加速度传感器及其制备方法
本发明提供一种MEMS加速度传感器及其制备方法，MEMS加速度传感器中，单晶硅衬底上质量块通过悬臂梁与基底框架连接并悬在基底框架内，质量块与基底框架相邻的侧面连接有第一梳齿组，基底框架与质量块相邻的侧面连接有第二梳齿组；...
王家畴李昕欣
悬臂梁式电容MEMS加速度传感器
本发明涉及一种悬臂梁式电容MEMS加速度传感器，包括依次设置的上部晶圆层、中间晶圆层和下部晶圆层；所述中间晶圆层用于成型可动质量块、固定电极和锚点；所述锚点设有一个，其位于所述可动质量块的第一端，所述锚点通过弹性梁与可动...
王辉薛维佳
一种加速度传感器控制方法及其相关设备
本申请提供了一种加速度传感器控制方法，包括：确定目标加速度传感器基础摆放状态；建立目标加速度传感器对应的坐标系映射函数，所述坐标系映射函数包括所述目标加速度传感器在不同摆放状态下与基础摆放状态的各个坐标轴之间的映射关系以...
刘瑞
三轴加速度传感器测试装置及方法
本发明提供一种三轴加速度传感器测试装置及方法，属于动物行为模拟技术领域，其装置包括:仿真模型、控制器和处理器，预先通过加速度传感器获取的动物行为实际加速度数据，并对其进行分割分析出动物每个肢体的加速度值，将其转换为线速度...
苏茂根何炬梁西银孙对兄尤鹏飞
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相关作者

刘俊
作品数：1,570被引量：2,224H指数：17
供职机构：中北大学
研究主题：加速度计 色心 金刚石 微加速度计 加速度传感器
石云波
作品数：484被引量：722H指数：13
供职机构：中北大学
研究主题：加速度计 MEMS 加速度传感器 高过载 谐振子
王跃林
作品数：723被引量：798H指数：14
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 键合 制作方法
尤晶晶
作品数：135被引量：285H指数：10
供职机构：南京林业大学机械电子工程学院
研究主题：六维加速度传感器 并联机构 并联式 并联机器人 位置正解
邱志成
作品数：479被引量：611H指数：14
供职机构：华南理工大学机械与汽车工程学院
研究主题：控制装置 柔性梁 压电驱动器 柔性板 振动控制