搜索到47524篇“ 制程“的相关文章
全部数字资源类型
相关度排序
一种制程工艺
本发明提出了一种制程工艺，包括以下步骤：S1：在衬底上堆叠有至少一层的介质层；S2：在介质层上涂布一层光阻层，对制程区的光阻层进行曝光和显影，在光阻层上形成制程区上槽，再对制程区上槽下方的介质层进行蚀刻，形成制程区下槽，...
黄光伟张朝闵陈建星吴靖
一种半导体制程的处理设备
本发明提出一种半导体制程的处理设备，包括：一腔体，其内部具有容置空间，用于承载电子组件；温度调节模块，设置于该容置空间内，用于调节温度；一排气衬套，可拆卸地设置于该该容置空间内；增压装置，连通该容置空间，用于使该容置空间...
林俊安
校准组件及半导体制程装置
本申请提供了一种校准组件及半导体制程装置，其中，校准组件用于校准调整半导体制程装置中待加工晶圆放置于加工平台的位置，包括：发射装置，用于发射校准光束，校准光束用于限定加工平台的预设晶圆位置；接收装置，用于接收校准光束，并...
王聪刘琦曹静
半导体制程的系统和方法
本文提供半导体制程的系统和方法，其中基于化学混合物的感测性质来自动控制含于水槽中的化学混合物中的化学物的量或浓度。在一些实施例中，半导体制程系统包括经配置以包含化学混合物的处理水槽。化学感测器经配置以感测化学混合物的一或...
郭承浩陈嘉伦胡宗皓
一种实时制程控制系统及控制方法
本发明公开了一种实时制程控制系统及方法，包括数据获取模块，用于在半导体光刻制程设备对半导的制程流程中以目标间隔时刻实时获取目标制程的制程采集参数，半导体的制程流程用于表征单片半导体的制程周期；光刻分析模块，用于接收数据获...
赖建华陈世勳王楚斌郑云山刘曜轩
集成电路湿法制程除泡装置
本实用新型涉及除泡技术领域，公开了集成电路湿法制程除泡装置，包括箱体，所述箱体上设有内槽和外槽，所述箱体顶端设有孔洞，所述外槽顶端靠近孔洞一侧安装有除泡器，所述外槽顶端安装有导流板。本实用新型中，利用导入45°导流板与除...
郭剑云
一种半导体制程废气燃烧处理系统
本发明涉及废气净化技术领域，一种半导体制程废气燃烧处理系统，其特征在于，包括燃烧器主体，燃烧器主体底部设有进气仓，进气仓外侧壁上连接有若干进气管，燃烧器主体包括内外层叠设置内筒、中筒和外筒，内筒、中筒和外筒的内侧端分别构...
白晓锌彭认清蔡项勉陈瑞勇陈志达
一种用于半导体制程的水基去胶液
本发明公开了一种用于半导体制程的水基去胶液，用于半导体晶圆制造中。该水基去胶液通过添加特定复配的阴‑非离子表面活性剂，产生协同效应和增效作用，配合水溶性有机助剂优化组合，极大的提高体系表面性能，强化了溶胀效果的同时对光阻...
刘小勇田博房龙翔叶鑫煌肖小江刘文生
一站式电浆制程系统及其制程方法
本申请为一种一站式电浆制程系统，包括一输入存放区、一洁净搬运模组、一缓冲单元、一制程搬运模组、一电浆模组、一清洁模组及一输出存放区。输入存放区用以存放基材；洁净搬运模组从输入存放区取出基材；洁净搬运模组于缓冲单元进行基材...
李原吉刘品均卢志铭苏雅铃
一种半导体制程保护膜及其制备方法
本发明公开了一种半导体制程保护膜及其制备方法，涉及薄膜技术领域，该制备方法包括以下步骤：将盐酸多巴胺溶解，调节pH，加入碳材料反应，经过滤、洗涤和真空干燥，得功能填料；将聚丙烯酸加入水中，加入偶联剂和盐酸多巴胺反应，经透...
陈郭忠代申强王鹏程胡章润刘洋洋
加载更多 ∨

相关作者

叶光平
作品数：200被引量：20H指数：3
供职机构：马鞍山钢铁股份有限公司
研究主题：控制程序 功能块 控制系统 同步控制 轧件
孙利民
作品数：468被引量：1,803H指数：21
供职机构：中国科学院信息工程研究所
研究主题：无线传感器网络 物联网 存储介质 电子设备 工控
李俊峰
作品数：524被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
徐洪
作品数：93被引量：3H指数：1
供职机构：马鞍山钢铁股份有限公司
研究主题：控制程序 锯机 钢锯 粗轧机组 功能块
马锐
作品数：99被引量：1H指数：1
供职机构：北京理工大学
研究主题：测试用例 测试用例选择 二进制程序 漏洞 漏洞检测