2024年12月25日
星期三
|
欢迎来到佛山市图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
搜索到
篇“
光栅干涉仪
“的相关文章
资源类型:
全部数字资源类型
期刊文章
政策法规
学位论文
专利
会议论文
标准
专著
科技成果
产品样本
科技报告
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
相关作者
张鸣
作品数:400
被引量:279
H指数:10
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
王志立
作品数:29
被引量:0
H指数:0
供职机构:合肥工业大学
研究主题:成像 光栅干涉仪 投影图像 探测器 相位光栅
朱煜
作品数:566
被引量:813
H指数:16
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
周常河
作品数:452
被引量:386
H指数:11
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光栅 达曼光栅 电子束直写 衍射效率 位相
韦春龙
作品数:35
被引量:13
H指数:1
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光栅干涉仪 光栅 自准直 衍射 外差
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张